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| - 基于光纤式差分的晶圆片快速测厚系统及方法
- 中文摘要:本发明涉及一种基于光纤式差分的晶圆片快速测厚系统,包括光源模块、分束模块、测量路、参考路、探测器模块和主控模块,其中:光源模块,用于产生近红外光束并输出;测量路,用于将测量光束汇聚入射至待测晶圆片样品上形成小光斑,并使待测晶圆片反射的反射光返回至分束模块后进入探测器模块,在测量路上设置有测量路快门;参考路,用于将参...
- 申请日:2022-5-26 申请号::CN202210581161.9
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- 一种功率可调的窄线宽、宽波长调谐硅基外腔激光器
- 中文摘要:本发明公开了一种功率可调的窄线宽、宽波长调谐硅基外腔激光器,属于光电通信技术领域。包括光源和硅基外腔芯片,所述硅基外腔芯片包括耦合器、相位调制器、等效微环调制器与第三分束器。通过硅基衬底的SOI、SiN、SiON或SiO2材料工艺平台实现硅基外腔芯片的片上集成,达到机械性能佳、抗振性好,同时实现外腔激光器的小型化和...
- 申请日:2022-5-26 申请号::CN202210578716.4
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- 一种X射线荧光光谱仪
- 中文摘要:本实用新型公开了一种X射线荧光光谱仪,包括能够对取放平台中产品进行检测的检测装置,还包括储放平台和桌面机械手,所述储放平台上设置有多个用于放置样品的样品托盘,所述桌面机械手用于将产品在各个所述样品托盘与所述取放平台之间进行转运。在该X射线荧光光谱仪中,设置了桌面机械手,可以自动将检测样品放入至对应的取放平台进行检测...
- 申请日:2022-5-26 申请号::CN202221282530.6
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- 一种便携式拉曼光谱仪
- 中文摘要:本实用新型涉及一种便携式拉曼光谱仪,包括:上箱体;操作面板,其设置在所述上箱体的正面;下箱体,其与所述上箱体铰接以便与上箱体一起形成箱体;激光器,其设置在所述下箱体中,且被配置为提供激光;拉曼探头,其设置在所述下箱体中,且被配置为对样品信号进行探测;样品室,其设置在所述下箱体中,且被配置为放置样品;拉曼信号采集装置...
- 申请日:2022-5-26 申请号::CN202221280227.2
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- 一种时空分辨多模态拉曼高光谱显微成像系统及方法
- 中文摘要:本发明属于光学显微仪器制造技术及光谱成像技术领域,特别涉及一种时空分辨多模态拉曼高光谱显微成像系统及方法,该系统包括光源模块、共轴双物镜显微模块、SPR反射成像模块、图像旋转模块、增强散射成像模块和图像处理模块;可以实时提供视野中多个目标样品的SPR图像、瑞利散射光谱图像和拉曼高光谱图像,降低入射激光功率密度避免样...
- 申请日:2022-5-25 申请号::CN202210572423.5
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