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  • 电子自旋共振装置
  • 中文摘要:目的 : 以提高所检测到的缺陷所述的平面分布的分辨率由一个光光束投影在一个样品和检测一个光诱导电子自旋共振(ESR)照射在所产生的信号部分。结构 : 所述光光束5被投影在所述样品4的收缩孔3的外侧装有一空腔谐振器2构成一个电子自旋共振(ESR)装置具有一个磁铁和一个电子自旋光谱仪一起。然后,载波被产生在所述带电平之...
  • 申请日:1987-4-22    申请号::JP62097299

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  • 检查的外延晶片
  • 中文摘要:目的 : 以评估所述特性的光-发光二极管通过一个非接触方法在所述晶片级的一种方法其中所述光学发光,其是一激光束是倾斜时产生的所述晶片的表面上的投影; 为允许要通过一反射镜反射,然后通过一光电倍增管检测。结构 : 一外延晶片1被设置在一晶片探测器2,和一个激光振荡器3被致动用于所发射的氩离子激光束L1,它进入一光谱仪...
  • 申请日:1987-4-8    申请号::JP62086363

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  • 自动分析装置
  • 中文摘要:目的 : 以提高精度的分析和以加速其自动化通过移动一样品以所述偏振光辐射所述的用于一种检测样品中的峰值位置选择的光谱波长上的偏振光方向根据数据。结构 : 光从光源14是穿过透镜14和16和偏振通过一个偏振板17,和然后会聚和投射该样品5上。所述光发射通过所述样品5被引导出所述装置的真空通过一反射式光学显微镜35以及...
  • 申请日:1987-3-31    申请号::JP62080251

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  • 液体金属离子源
  • 中文摘要:目的 : 以得到一种金属离子源到被用于形成所述iiiwv化合物中的杂质水平的半-导体,通过分类和处理的合金,其包括至少一个元件进行的是,Si,Se和Te元素和匝数,以一种液体金属在所述的温度10a100A°C。结构 : 一发出的离子电流从形成一针尖端3是通过提取的提取电极5,和它被隔离到所述电流的一特定离子的原子种...
  • 申请日:1987-3-13    申请号::JP62056513

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  • 紫外荧光光谱仪
  • 中文摘要:
  • 申请日:1987-3-11    申请号::JP62036254U

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