|
| - 用于所述条件分析过程和装置。
- 中文摘要：在所述的装置，该电子束(12)从一电子枪(11)被入射在一个测量点在所述待分析的样品(10)，其是，该光束被引导通过一聚光透镜(13)和一物镜透镜(14)。一扫描线圈(15)被提供到使该样品的扫描(10)其中，在响应于所述光束(12)发射一X-射线(16)和二次电子。两个波长色散光谱仪被提供给检测所述的特征X-射线...
- 申请日：1985-6-11 申请号：：DE3585533
-
- 质量光谱仪
- 中文摘要：目的 : 以二次离子的产量增加，通过使一种二次离子质谱仪的电离室含有一灯丝的一圆柱形磁体设置在一开放端，一圆柱形网状栅格和鸟。结构 : 一种二次离子质谱仪是由一个电离室8包含一圆柱形磁铁12的提供外部圆柱形网状栅格10，一环形灯丝14设置在所述磁铁的一个开口端，一收敛透镜系统16设置在所述另一开口端，和鸟18的外侧...
- 申请日：1985-5-16 申请号：：JP60105478
-
- 该光谱仪
- 中文摘要：
- 申请日：1985-4-19 申请号：：JP60083988
-
- 半导体装置的制造
- 中文摘要：目的 : 为了能够易于一非常微小的期望的区域中的离子注入与高位置精度的一种方法，其中一聚焦离子束包含两个种类的杂质离子被施加到一半导体衬底的所需部分。结构 : 一个电场和磁场，其被垂直于离子束被施加在一个质量光谱仪22以偏转该光束在根据与所述的荷质比离子，和仅一个希望的离子籽晶被传递通过一个第一孔23。一质量分离功...
- 申请日：1985-4-15 申请号：：JP60078347
-
- 薄膜形成方法和设备
- 中文摘要：<所述目的>用于形成一薄的膜分子线中使用的流率和使该速度的测定; 和反馈到装置-射线发生器分子，可以控制薄膜。<配置>分子(1)一加热容器(2)所述接收加热控制器(3)被加热，同时控制到所述均化与斩波器(4)上的分子束-关断到该脉冲分子束(5)中的转换。开口(6)限制扩散到4质量光谱仪发射度控制在不影响电子束电流(...
- 申请日：1985-4-13 申请号：：KR1019850002484
-
|