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  • 离子束装置
  • 中文摘要:目的 : 离子到相同的,以使不同类型的照射点相同的条件下,通过提供多个离子源不同的类型和切换它们。结构 : 假设磷和砷被注入到晶片上相同的点1,以形成一个双漏极结构,磷离子束投射从第一离子源11是通过质量光谱仪15照射到所述晶片1因此,以注入磷离子18为特定部分17不施加与掩模16。然后从第二离子的砷离子束被投射源...
  • 申请日:1985-4-12    申请号::JP60076535

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  • 质量光谱仪
  • 中文摘要:目的 : 以使只有所述目标离子到所述离子集电极通过构造一个狭缝与一中央电极,用于狭缝和辅助电极,从而将所述狭缝,而不干扰所述的电气领域。结构 : 具有特定离子质量Mo会到达到所述离子集电极8,但那些具有不同的质量被通过该磁场6和永远不会到达不同的偏转到所述离子集电极8。但它们可以通过碰撞气体到达到所述离子集电极8或...
  • 申请日:1985-4-12    申请号::JP60076744

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  • 质量光谱仪
  • 中文摘要:目的 : 以获得一精确质谱即使如果该流样品和其压力变化急剧的速度; 通过组合中进行偏转磁场偏转和加速电压,以提高所述总偏转速度。构造 : 离子加速电压B被同步地变化与一个电电流一种用于一磁场6使所述用于一个小的质量侧重要的灵敏度比较所述的相似度的度数据与每个其它是由高。所述的离子加速电压的所述参考电平B可以被改变到...
  • 申请日:1985-4-9    申请号::JP60074912

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  • 磷光光谱测定法
  • 中文摘要:在此公开了一个新颖的只具有单个分光计的磷 光光谱仪。这个装置不必使用通常磷光光谱仪所必 须有的两个分光计,其中之一是当光通过一个斩光 器时用作激发光分光计,而另一个则是当光实质上 被斩断时用作磷光分光计。这个单一分光计是当光 通过时用作激发光分光计,当光被斩断时又作为磷 光分光计。
  • 申请日:1985-4-1    申请号::CN85101336.8

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  • 荧光光谱分析仪器
  • 中文摘要:一种荧光光谱分析设备,包括激光束源,以及插入内窥镜中的第一和第二光纤,所述第一和第二光纤的前端从所述内窥镜的远端延伸。 所述第一光纤将从所述光源发射的激光束引导到待分析的对象部分,并且所述第二光纤透射由于所述激光束的照射而从所述对象部分产生的荧光。 荧光由光接收元件检测。 测量光接收器接收荧光的时刻和从光源产生激光...
  • 申请日:1985-3-28    申请号::US06716855

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