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| - 汽相生长装置。
- 中文摘要：目的 : 提供一种通过形成汽相生长装置与控制精度高的取样管为双壁结构和通过一个低温度。流体用于冷却通过该管的外侧，以防止该管上沉积一种生长的物质。组成 : Si的进料气体被引入到反应器5与H2气体一起作为载体气体和减少在加热夹具3上加热2通过高频加热，以沉积Si半导体衬底4。取样管6被装入反应器5在该中心部分到样品...
- 申请日：1978-10-27 申请号：：JP53131529
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- 自旋共振谱仪与一到线将样品容器
- 中文摘要：在自旋共振光谱仪的样品室(83)，进水管(92)供应液体。所述腔室设有使液体样品。进入到该腔室具有一运动分量使液体沿切线指向腔中转动，腔室。这消除了样品的均匀性造成的误差。可以存在两个或更多个不同点处的进水管口进入样品室在周边但在同一平面上。螺旋通道可位于所述管和样品室。
- 申请日：1978-10-21 申请号：：DE2845961
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- 质量光谱仪
- 中文摘要：目的 : 使所述光谱在一所需的正确地自动获得的灵敏度，通过装置的灵敏度改变的离子检测系统以一预设值电场强度之间的比较在所述的方法和预设值。结构 : 在所述质量光谱仪，其是由以扫描所述电场与一种离子源1，电场2，磁场4，二次电子乘法器6，记录器8，磁场电流控制器9，磁场检测器10，电场电压发生器11和增益转换器12包...
- 申请日：1978-9-29 申请号：：JP53119351
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- 发射光谱分析仪
- 中文摘要：
- 申请日：1978-9-29 申请号：：JP53120679
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- 质量光谱仪
- 中文摘要：目的 : 以获得质量spector最佳条件下，通过提供一种互锁开关与所述供给反应气体的用于进行化学电离，从而切换所述电压供给到每个电极的离子源，以该最佳电平用于每个测量模式。结构 : 它是由反应气体的供应器34，反应气体切换器48，和气相色谱仪。一电压切换器包括ripeller电压交换开关54和电离电压之间的交换开...
- 申请日：1978-9-27 申请号：：JP53117863
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