|
| - 一种自动化光谱检测与分析设备及存储介质
- 中文摘要：本发明公开了一种自动化光谱检测与分析设备及存储介质。自动化光谱检测与分析设备包括位移平台、自动点样装置、光源组件、光路转接组件、光谱仪以及控制终端；位移平台设有承接样品的样品池；自动点样装置用于滴加样品至样品池中；光源组件用于向样品池发射激光；光路转接组件用于收集样品散射光、透射光或荧光信号；光谱仪用于对样品散射光...
- 申请日：2023-7-18 申请号：：CN202310886227.X
-
- 一种多管检测式紫外分光光度计
- 中文摘要：本发明公开了一种多管检测式紫外分光光度计，包括分光光度计本体，分光光度计本体上设有控制面板和检测腔，检测腔内设有检测头和比色卡，控制面板与检测头电性连接，检测腔内设有伸缩组件，伸缩组件上设有试管架，试管架内设有试剂管，伸缩组件包括伸缩单元，伸缩单元的驱动端上分别设有支撑板和测距单元，试管架设置于支撑板的顶部，测距单...
- 申请日：2023-7-17 申请号：：CN202310876446.X
-
- 用于半导体工艺的光学仪器的故障检测和操作就绪情况的系统和方法
- 中文摘要：本申请案涉及一种用于半导体工艺的光学仪器的故障检测和操作就绪情况的系统和方法。本公开认识到，当光学仪器未正常工作时，与其用光学仪器作为工艺控制仪器/传感器来监测可控工艺，不如不开始监测所述工艺。因此，本公开涉及用于在光谱仪等光学仪器用于监测半导体工艺之前检查所述光学仪器是否正常工作的新颖特征。在一个方面中，本公开提...
- 申请日：2023-7-17 申请号：：CN202310874640.4
-
- 用于监测半导体工艺的极高分辨率光谱仪
- 中文摘要：本申请涉及一种用于监测半导体工艺的极高分辨率光谱仪。提供可用于监测半导体工艺的极高分辨率的光学仪器。在此应用空间中，极高分辨率可被认为是足以准许分辨个别分子转振发射线的分辨率。在一个实例中，提供一种光学仪器，其包含：(1)光学接口，其接收光纤；(2)窄带通滤波器，其滤出经由所述光纤接收的光信号的一部分；(3)光学组...
- 申请日：2023-7-17 申请号：：CN202310875008.1
-
- 蚀刻基板换液系统
- 中文摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，特别是一种蚀刻基板换液系统，包括液体供应系统和侦测模块，所述液体供液系统包括液体供液系统、液体检测系统和液体更新系统，所述侦测模块包括光源发射器、光谱接收器和侦测器。本发明与传统蚀刻基板终点控制方法相比，既能检测单次基板蚀刻作业蚀刻终点检测，也能通过检测异常报警反馈与流体检测系统检测蚀...
- 申请日：2023-7-17 申请号：：CN202310875739.6
-
|