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  • 一种超快透射电子显微镜系统及其使用方法
  • 中文摘要:本发明提供一种超快透射电子显微镜系统,所述超快透射电子显微镜系统包括超快激光系统、电子枪、照明系统、成像系统、样品室、探测器和真空设备。所述超快透射电子显微镜系统能细致地测试样品在不同激光参数及环境温度下的超快结构变化过程,包括不同激发波长、脉冲宽度、激光功率、重复频率以及样品温度等,采集到的信号包括衍射、显微图像...
  • 申请日:2016-10-20    申请号::CN201610916333.8

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  • 透射电子显微镜电子束产生
  • 中文摘要:一方面,本发明提供了一种在透射电子显微镜装置中产生电子束的方法。 该方法包括 : 由脉冲电子源[300]产生电子脉冲[306],在第一谐振腔[302]中加速电子脉冲,使加速的电子脉冲通过漂移空间[314],以及通过使加速的电子脉冲与第一谐振腔[302]异相90度来校正第二谐振腔[304]中加速的电子脉冲的能量扩散。
  • 申请日:2016-10-20    申请号::US15769170

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  • 一种降低临界尺寸电荷的方法扫描电镜计量法
  • 中文摘要:本发明提供了在通过光刻产生的结构中的临界尺寸(CD)的扫描电子显微镜(SEM)计量学期间减少或消除电荷累积的方法和组合物。 在结构的构造中使用包括硅的底层。 当使用SEM扫描包括含硅底层的光刻结构以获得CdS时,底层在SEM计量观察期间减少或消除电荷累积。
  • 申请日:2016-10-20    申请号::US15298445

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  • 一种用于透射电镜电子束产生
  • 中文摘要:在一个方面中,本发明提供了一种透射电子显微镜中产生的电子束装置。所述方法包括 : 产生电子脉冲[306]由脉冲式电子光源[300],第第一谐振加速电子脉冲微波腔[302],经过加速后的电子束的脉冲通过一漂移区域[314],校正所述加速后的电子束的脉冲能量扩展度在第二谐振微波腔[304],通过对它操作。异相90度从第...
  • 申请日:2016-10-20    申请号::WOEP16075202

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  • 扫描探针显微镜
  • 中文摘要:[问题]分束器可以移动,精确度高,并可通过扫描探针显微镜观察。[解决方案]在扫描探针显微镜悬臂和4的样品1中确定的位置时,用户,上壳体第一的开口212112光学显微镜(10)彼此面对设置,所述侧壳体(2)设置在把持部(22)旋转,所述保持部(6)在壳体(2)移动通过转动分束器,所述光学显微镜(10)被从在视场内。因...
  • 申请日:2016-10-19    申请号::JP2016005057U

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