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  • 方法和设备用于确定参考图像的显微镜。
  • 中文摘要:本发明提供了一种方法,其用于确定参考图像的显微镜,包括以下步骤 : 区域成像的探测器上的基板的非显微镜其中,所述区域的基底可以具有错误,所述成像导致的错误,接收映射作为参考图像,最小的参照图像的误差。还提供了一种显微镜,包括 : -光源,成像光学系统成像的基板,一种空气检测器,用于接收至少一个图像的基板,至少一个光...
  • 申请日:2016-9-26    申请号::DE102016218433

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  • 用多频原子力显微镜测量AM/FM
  • 中文摘要:所介绍的设备和技术结合了调幅(AM)原子力显微镜(AFM)(有时称为AC模式AFM)和调频(FM)AFM的特性和优点。 在AM-FM成像中,来自第一谐振驱动频率的地形反馈在AM模式下操作,而来自第二谐振驱动频率的相位反馈在FM模式下操作。 特别地,第一或第二频率可用于测量损耗正切,无量纲参数,其测量耗散的能量与在变...
  • 申请日:2016-9-26    申请号::US15275770

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  • 用于多束扫描电子显微镜系统的焦点调整的方法和系统
  • 中文摘要:
  • 申请日:2016-9-23    申请号::SG10201912510Q

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  • 电子显微镜
  • 中文摘要:本发明旨在创建一种电子显微镜,该电子显微镜可以通过将NEG布置在电子源周围的引出电极上而在合适的温度下激活。 本发明是具备电子枪的电子显微镜,所述电子枪包括电子源、引出电极和加速管,所述加速管在连接部与所述引出电极连接,所述引出电极包括第一加热器和第一NEG,所述第一加热器和所述第一NEG在由所述电子源发射的电子束...
  • 申请日:2016-9-23    申请号::DE112016007631

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  • 焦点调节方法和系统的多波束扫描电镜系统
  • 中文摘要:本发明公开了一种扫描电镜系统。所述系统包括多波束扫描电子显微镜(SEM)子系统。SEM子系统包括多束电子源构造成用以形成多个电子束,成用于固定样品的样品台,电子-光学组件以将所述电子束到样品的一部分,以及检测器组件被配置成同时采集多样品表面的图像。所述系统包括 : 控制器,被配置为接收从图像检测器组件,确定最佳焦点...
  • 申请日:2016-9-23    申请号::WOUS16053466

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