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  • 用于多束扫描电子显微镜系统中的噪声减轻的方法和系统
  • 中文摘要:公开了一种扫描电子显微镜系统。 该系统包括多束扫描电子显微镜(SEM)子系统。 SEM子系统包括配置成产生多个电子束的多束电子束源、配置成固定样品的样品台、电子光学组件和配置成检测从样品表面发出的多个电子信号束以形成多个图像的检测器组件,每个图像与多个电子束中的一个电子束相关联。 所述系统包括控制器,所述控制器被配...
  • 申请日:2016-9-19    申请号::SG11201801827P

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  • 用于在多束扫描电子显微镜系统中降低噪声的方法和系统
  • 中文摘要:本发明公开了一种扫描电子显微镜系统。 该系统包括多束扫描电子显微镜(SEM)子系统。 SEM子系统包括配置成产生多个电子束的多束电子束源、配置成固定样品的样品台、电子光学组件和配置成检测从样品表面发出的多个电子信号束以形成多个图像的检测器组件,每个图像与多个电子束中的电子束相关联。 所述系统包括控制器,所述控制器被...
  • 申请日:2016-9-16    申请号::US15267223

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  • 偏振光显微镜法
  • 中文摘要:[问题]为了简化结构的偏光显微镜。[技术方案]该起偏器7,所述可见光源设置在光路从样品(3),通过传输光3从可见光源,线性偏振光第二的偏振方向产生的1。解析部(8),光照射样品后设置在光路,第二偏振表面2沿传送方向的线偏振光。所述机构(9),旋转起偏器(8)移动,第一方向和第第二方向正交的状态为1 : 2,12平行...
  • 申请日:2016-9-16    申请号::JP2016004556U

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  • 显微镜光片
  • 中文摘要:背景技术[向]充分可影响显微镜光片。[解决方法]一种显微镜片100可以写入,试样垂直于光轴的方向的照明光学系统50的S,检测来自所述样品的显微镜光片。所述片透光镜,激光光源1发射的相干照射,照明光源和照明光学系统,用于向试样照射光,激光光源和照明光学系统的照明光学系统(101)之间设置调制,照明光,光强度分布的光束...
  • 申请日:2016-9-15    申请号::JP2016180946

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  • 选择性平面照明光场显微镜
  • 中文摘要:一种光场显微镜,包括配置成输出照明光作为光片的光片聚焦装置,以及在物镜和光检测器之间的微透镜阵列。 光片沿与样品平面不平行的方向照射样品。 光场数据可以从样品中获得,而不需要扫描样品的厚度。 显微镜结合选择性平面照明实现光场采集。
  • 申请日:2016-9-15    申请号::US15266310

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