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| - 基于扫描电子显微镜图像的间距行走检查方法和包括该检查方法的半导体器件的制造方法
- 中文摘要:一种间距行走检查方法,包括:获得通过多图案化技术(MPT)形成的线和间隔(L/S)图案的扫描电子显微镜(SEM)图像,其中L/S图案包括交替布置的多个线和间隔; 检测所述SEM图像中的所述L/S图案的主间距; 基于所述MPT,将所述主间距的图形划分为分量间距的图形; 对分量间距的每个图执行快速傅里叶变换(FFT);...
- 申请日:2022-9-25 申请号::US17935128
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- 一种易调节偏光转盘的金相显微镜
- 中文摘要:本实用新型属于金相显微镜技术领域,尤其是一种易调节偏光转盘的金相显微镜,包括显微镜本体,显微镜本体由载物平台、倍数镜头、观察目镜、光源和偏光调节机构构成。该易调节偏光转盘的金相显微镜,通过设置偏光调节机构,在使用时,在需要对显微镜进行偏光调节时,通过放大镜对偏光镜镜调节轮和偏光镜调节盘上的刻度进行放大,便于调节人员...
- 申请日:2022-9-23 申请号::CN202222537136.9
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- 低真空气体闪烁探测器和具有其的扫描电子显微镜
- 中文摘要:本实用新型公开了一种低真空气体闪烁探测器和具有其的扫描电子显微镜,所述低真空气体闪烁探测器包括:导光柱,所述导光柱具有入射端和出射端;偏压电极,所述偏压电极设在所述导光柱的所述入射端且向远离所述导光柱的方向延伸出所述入射端的端面;电连接器,所述电连接器与所述偏压电极电连接且适于向所述偏压电极施加正偏压;光电倍增管,...
- 申请日:2022-9-23 申请号::CN202222520121.1
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- 非接触模式与接触模式协同工作的原子力显微镜控制方法
- 中文摘要:非接触模式与接触模式协同工作的原子力显微镜控制方法,解决现有两种工作模式组合方式存在无法原位表征的问题,属于原子力显微镜技术。本发明的原子力显微镜的悬臂梁带动探针在样品上方,方法包括:S1、原子力显微镜的悬臂梁带动探针在样品上方设定距离处,激发传感器激发悬臂梁带动探针谐振,测试长程性能;S2、激发传感器停止激发,驱...
- 申请日:2022-9-23 申请号::CN202211165715.3
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- 一种数码显微镜
- 中文摘要:本申请涉及一种数码显微镜,包括壳体,壳体包括安装壳和位于安装壳上的盖体,盖体包括两个连接盖,安装壳上设置有载物台,安装壳上转动设置有物镜转换器,物镜转换器上设置有多个物镜,安装壳内设置有座体,座体上开设有成像通道,座体上可拆卸连接有目镜,盖体上开设有用于供目镜伸出至盖体外的连接孔,安装壳内可拆卸连接有连接座,连接座...
- 申请日:2022-9-22 申请号::CN202211156555.6
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