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| - 一种激光显微镜
- 中文摘要：[问题]为了获得完全激光共聚焦显微镜图像。本发明为[解决方案]一种激光显微镜，照明系统，激光光源(1)，(3)及声光元件，衍射光栅(10)，所述多光束在主扫描方向扫描。所述检测系统包括，在主扫描方向对应的方向传感器(22)，其具有多个光电检测器阵列，行传感器上形成的多个曝光斑点n的像素间隔。1次主扫描方向扫描时，线...
- 申请日：2016-3-24 申请号：：JP2016059994
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- 用于具有改进的图像束稳定和询问的带电粒子显微镜的方法和系统
- 中文摘要：本发明公开了一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。 该系统包括电子束源和一组电子光学元件，电子束源被配置成产生电子束，电子光学元件将电子束的至少一部分引导到样品的一部分上。 该系统包括发射度分析器组件。 该系统包括分束器元件，该分束器元件被配置为将由样品表面发射的至少一部分二次电子和/或后向散射电子引导到...
- 申请日：2016-3-24 申请号：：US15079046
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- 冷却装置，物镜，物镜的显微镜及冷却方法
- 中文摘要：[问题]将其从所述热图像的热，同时保护的目标样本中可减少波动冷却装置的物镜，物镜的显微镜和冷却。物镜根据本发明的冷却装置[1]，尖端53的端部设置有覆盖所述玻璃透镜物镜，镜筒(50)，50，设置在所述罩(10)和镜筒之间的间隙(14)分开，保护罩(10)面对所述开口(12)的顶端设置有玻璃透镜(53)，所述窗玻璃和...
- 申请日：2016-3-24 申请号：：JP2016059685
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- 用於具有改良之影像光束稳定性及询问之带电粒子显微镜之方法及系统
- 中文摘要：本发明公开了一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。 该系统包括配置成产生电子束的电子束源和将电子束的至少一部分引导到样品的一部分上的一组电子光学元件。 该系统包括发射率分析器组件。 该系统包括分束器元件，该分束器元件被配置为将由样品的表面发射的至少一部分二次电子和/或反向散射电子引导到发射率分析器组件。 ...
- 申请日：2016-3-24 申请号：：TW105109322
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- 用于具有改进的图像束稳定性及询问的带电粒子显微镜的方法及系统
- 中文摘要：本发明揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述...
- 申请日：2016-3-24 申请号：：CN201680013667.2
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