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| - 一种射频原子力显微镜扫描探针
- 中文摘要：本实用新型公开了一种射频原子力显微镜扫描探针。该探针包括探针躯干(1)、探针悬臂梁(2)、探针针尖(3)和探针躯干上的射频传输线(4)。利用该射频原子力显微镜扫描探针对样品进行形貌扫描时，由于射频电路对电抗(容抗和感抗)极其敏感，样品表面形貌的变化将引起容抗的变化，导致射频谐振信号发生偏移。利用射频电路的高速特性，...
- 申请日：2016-3-1 申请号：：CN201620157520.8
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- 一种校正电子显微镜电子束与晶圆位置偏差的方法
- 中文摘要：本发明公开了一种校正电子显微镜电子束与晶圆位置偏差的方法，包括：在晶圆上的不同区域选定测试芯片，以每个测试芯片的起始点位置为坐标原点，在测试芯片旁的切割道上标定出X、Y方向刻度，并在电子显微镜中分别设定坐标系统，使电子显微镜电子枪自动对准各测试芯片的起始点发射电子束进行定位，并根据设定好的坐标系统直接读出各定位点在...
- 申请日：2016-3-1 申请号：：CN201610114691.7
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- 显微镜物镜前片封装结构
- 中文摘要：本实用新型公开一种显微镜物镜前片封装结构，包括镜筒，该镜筒的前端开设有通光孔，其特征在于：所述通光孔中的前片组件是由一块平面玻璃和一块平凸镜胶合而成，且所述通光孔的孔壁粘合在所述平面玻璃的侧壁上。一方面可以降低各个光学元件的加工难度；另一方面，采用平面玻璃与通光孔相粘接，可以加大接触面积，胶结牢固，密封可靠，能有效...
- 申请日：2016-2-26 申请号：：CN201620144062.4
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- 多个扫描探针显微镜集成顶尖
- 中文摘要：用于表征样品装置和系统使用多个集成扫描探针显微镜尖端。多个集成的尖端(MIT)探针包括两个或更多个单片整体可移动的AFM针尖彼此定位成在纳米，能够实现前所未有的微纳米级真空中或环境条件探测功能。尖端结构的电容梳状结构结合laserless提供出高分辨率电动式电驱动和传感能力的新颖集成有结型场效应管用于信号放大和低噪...
- 申请日：2016-2-26 申请号：：WOUS16019763
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- 一种倒置式光学显微镜的原子力显微镜观察的显微镜，其具有化合物的方法，用于显微镜观察的方法和化合物
- 中文摘要：一种倒置式光学显微镜用于原子力显微镜的化合物与显微镜观察方法，扫描中沿Z轴的悬臂，表面层(50)和靠近探针试样至试样信息获取步骤的方法中，通过显微镜观察悬臂，悬臂(51)和至少一个悬臂，所述观察步骤获得的形状，一种倒置式光学显微镜的观测位置，至少基于探针的长度，Z轴滑块(52)和观察位置的向下移动的移动沿所述的方法...
- 申请日：2016-2-26 申请号：：JP2018501547
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