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| - 利用扫描探针显微镜的特征物成像的方法
- 中文摘要:使用局部电位驱动探针驱动一个已知的电位,而相邻导体线接地,通过静电扫描显微镜的样品,降低了来自相邻信号线,允许样品中的金属线较深的成像。提供局部不同的电位不同的导电线路上使用多个局部电位驱动探针可被突出显示同一图像中不同导线,例如,通过改变信号的相位不同的局部电位施加到驱动探针。
- 申请日:2016-2-3 申请号::WOUS16016411
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- 扫描电子显微镜装置及用於经由一薄膜之一光罩的成像之方法
- 中文摘要:本发明揭示一种用於经由一保护薄膜使一样本成像之系统该系统包含经组态以产生一电子束之一电子束源及经组态以固定一样本与一薄膜之一样本载物台,其中该薄膜被安置在该样本上方该系统亦包含一电子-光学柱,该电子-光学柱包含一组电子-光学元件以将该电子束之至少一部分引导穿过该薄膜且至该样本之一部分上另外,该系统包含一侦测器总成,...
- 申请日:2016-2-3 申请号::TW105103590
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- 紧凑型显微镜设备和使用方法
- 中文摘要:本发明公开了一种紧凑型显微镜设备和使用方法。 一种设备包括载物台、光源、物镜、分色镜元件和成像传感器。 所述台配置成在其上保持样品。 光源被配置成朝向舞台发射光。 该物镜被定位成聚焦来自舞台的光。 二向色元件被配置为使光源发射的光和来自台的光中的相应的一个通过或反射。 成像传感器被定位成接收来自台的光。 载物台、光...
- 申请日:2016-2-3 申请号::US15014264
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- 使用扫描探针显微镜对特征成像的方法
- 中文摘要:使用局部电位驱动探针将导体驱动到已知电位,同时相邻线接地通过样品主体,减少了来自相邻线的静电扫描显微镜信号,允许对样品中更深的金属线成像。 使用多个局部电位驱动探针在不同导线上局部地提供不同的电位允许在同一图像中突出不同的导体,例如通过改变施加到不同局部电位驱动探针的信号的相位。
- 申请日:2016-2-3 申请号::US15015067
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- 电镜和像差测量方法
- 中文摘要:[A]可以测量高精度电镜中的像差。[解决方案]100的电子显微镜,电子源,会聚电子束的电子束EB源产生样品辐照透镜系统,所述透镜系统在照射在样品上扫描的电子束收敛,电子束EB的角度从电子束EB透过不同的样品S的出孔30。多个角度限制节气门和32,有节流阀(30)穿过电子束EB检测部(20),包括。图[图3]
- 申请日:2016-2-3 申请号::JP2016018790
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