|
| - 带电粒子束装置和扫描电子显微镜
- 中文摘要：[问题]为了获得改善的性能的带电粒子束装置。[解决手段]本发明提供一种带电粒子束装置具有 : 一个带电粒子源(11)；一种加速电源(14)，其连接到所述带电粒子源(11)，并提供了以加速带电粒子束(12)发射的带电粒子源(11)；以及物镜，所述带电粒子束(12)聚焦在样品(23)。该物镜包括 : 第第一物镜(18)...
- 申请日：2015-12-3 申请号：：WOJP15084074
-
- 带电粒子束装置和扫描电子显微镜
- 中文摘要：[问题]为了获得改善的性能的带电粒子束装置。[解决手段]本发明提供一种带电粒子束装置具有 : 一个带电粒子源(11)；一种加速电源(14)，其连接到所述带电粒子源(11)，并提供了以加速带电粒子束(12)发射的带电粒子源(11)；和物镜(26)，其将带电粒子束(12)上的样品(23)。物镜(26)设置在样品(23)...
- 申请日：2015-12-3 申请号：：WOJP15084073
-
- 一种扫描电镜
- 中文摘要：本实用新型公开了一种扫描电镜，包括：系统舱，与所述系统舱密封连接的气闸，所述气闸内设有用于承载测试样品的载台，所述气闸内设有溅射靶，所述溅射靶朝向所述载台，所述溅射靶与所述载台之间不贴合。正是由于本实用新型中的扫描电镜在其气闸内设有溅射靶，由于扫描电镜和离子溅射仪均工作在真空环境，那么，只需在扫描电镜的气闸内进行抽...
- 申请日：2015-12-2 申请号：：CN201520988177.7
-
- 场致发射型电子枪与低碳钢包含其的真空室和电子显微镜
- 中文摘要：本发明涉及发射电子电流密度，同时保持高的场致发射型电子枪(场致发射电子枪)，同时向乘客orgin香橼(杂散磁场)可以是软钢(低碳钢)防止电子枪室引入一类似硅树脂的镍铁芯或坡莫合金(坡莫合金)-(μ-金属)的电子枪和更大的磁场实现方法，包括对外部光的磁性能，一种电镜，本发明对软钢材料的质量示出径向的电子枪，包括不锈钢...
- 申请日：2015-12-1 申请号：：KR1020150169681
-
- 扫描电子显微镜
- 中文摘要：[A]从样品发射的光可以取出效率高于现有的扫描型显微镜。[技术方案]该扫描显微镜光源102，112，109和从所述样品发出的光扫描装置，从光学系统发出的光导向装置(111)和试样，样品从照明光的光路通过注射到光经过光学系统路径分离装置(108)和注射，装置，用于检测从装置116发出的光，其中，分离装置光源和光路之间...
- 申请日：2015-12-1 申请号：：JP2015235240
-
|