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| - 一种扫描电镜装置
- 中文摘要：本实用新型涉及半导体制造领域，公开了一种扫描电镜装置，包括：电子枪，设置在电子真空腔室内用于产生检测分析需要的电子；扫描电镜，设置在电子枪的电子出口处用于调整电子的活动轨迹；还包括样品台，用于放置需要进行检测分析的晶圆，扫描电镜包括第一目镜腔室和第二目镜腔室，第一目镜腔室和第二目镜腔室内分别设置有调节电压以使得穿过...
- 申请日：2022-9-6 申请号：：CN202222358604.6
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- 三自由度纳米操纵及双轴倾转的透射电子显微镜样品杆
- 中文摘要：本发明公开了一种三自由度纳米操纵及双轴倾转的透射电子显微镜样品杆，包含：驱动杆架、驱动轴、X?α驱动单元、Y?Z驱动单元和β驱动单元；Y?Z驱动单元包含：Y?Z压电驱动件、关节球座、关节球、第一压件、第二压件和转接铜管；β驱动单元包含：β驱动基板、β压电驱动件、β驱动耐磨片、β驱动扇形动子和探针；β驱动扇形动子沿着...
- 申请日：2022-9-6 申请号：：CN202211086150.X
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- 一种用于原位顶压的透射电镜样品杆
- 中文摘要：本实用新型公开了一种用于原位顶压的透射电镜样品杆，包括如下组成部分：杆体，用于插入透射电镜内并隔绝透射电镜内外真空度；固定架，布置在杆体位于透射电镜内的一端并用于固定样品；操作杆，布置在杆体的杆腔内并与杆体回转配合；顶针，布置在操作杆的杆端并与操作杆铰接配合，顶针与样品位置对应并可对样品进行原位顶压试验；调节部，用...
- 申请日：2022-9-6 申请号：：CN202222364794.2
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- 贝塞尔双光子显微镜照明光路生物组织像差探测方法
- 中文摘要：贝塞尔双光子显微镜照明光路生物组织像差探测方法，涉及生物荧光显微成像领域，解决现有技术中进行生物组织像差探测时采用的光路系统结构复杂、系统装调难度大等问题。本发明在空间光调制器上分别施加轴棱锥相位和薄透镜相位，实现贝塞尔调制和高斯调制的光路切换，无需额外引入光路、也无需光学元件的移动切换。当空间光调制器实现贝塞尔调...
- 申请日：2022-9-6 申请号：：CN202211082314.1
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- 一种使用多波长激光光源的线扫描式荧光显微镜
- 中文摘要：本实用新型公开了一种使用多波长激光光源的线扫描式荧光显微镜，包括合束光组、鲍威尔棱镜、柱面镜、激发光滤光轮、分束镜、显微物镜、发射光滤光轮、镜筒透镜和TDI线阵相机，合束光组、鲍威尔棱镜、柱面镜、激发光滤光轮、分束镜沿光入射方向顺序设置，显微物镜设置于分束镜一侧，分束镜的另一侧设置有镜筒透镜和TDI线阵相机。本实用...
- 申请日：2022-9-5 申请号：：CN202222386648.X
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