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| - 结构化照明装置和结构化照明显微镜装置
- 中文摘要：以获得期望的超分辨率效果的每一个中的多个波长，结构化照明装置根据本发明的一个例子有用于衍射的衍射单元，成的多个衍射光束，从光源发射的光束用于发射光的多个波长的同时或顺序，和光学系统，用于形成，在样品表面，从所述衍射光束的干涉图案衍射的衍射单元。该光学系统包括第一光学系统，和第二用于收集光学系统衍射的光束在所述光瞳平...
- 申请日：2014-5-29 申请号：：WOJP14002855
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- 扫描电镜叠加计量系统和方法
- 中文摘要：本发明涉及一种执行SEM覆盖计量的方法，其中扫描方向基本上与覆盖目标结构的特征放置或图案化对准或平行。 通过在与特征放置相同或相似的方向上扫描目标结构，避免了感兴趣边缘处的模糊，并且图案元素之间的线到线或边到边偏移不太容易受到在扫描的感兴趣边缘处的模糊引起的误差的影响。 例如，对应于至少两个样本层的至少两个线性图案...
- 申请日：2014-5-29 申请号：：US14290556
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- 一种金相显微镜用暗场物镜
- 中文摘要：本实用新型公开了一种金相显微镜用暗场物镜，包括管状的物镜外套、暗场物镜本体和物理曲面反光镜，物镜外套固定设置在暗场物镜本体的外部，物理曲面反光镜设置在暗场物镜本体的下部，暗场物镜本体上设置有用于使光束进入到暗场物镜中的环状的光束照射腔，特点是暗场物镜本体的外壁与物镜外套的内壁之间形成环形空腔，光束照射腔与环形空腔相...
- 申请日：2014-5-28 申请号：：CN201420280408.4
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- 功能集成激光扫描显微镜
- 中文摘要：本发明涉及一种激光扫描显微镜功能的集成，有选择地形成在共焦激光扫描样品的照明与A-，[…]远场的操作模式，包括 : 激光光源，[…]射线的检测路径，检测装置和至少一个透镜，每个设计用于使用用于每个可选择的操作模式，其中[…]检测光路的光学配置装置，用于把该激光照射，至少一扫描仪，用于扫描所述样品与激光照明，和分束器...
- 申请日：2014-5-28 申请号：：DE102014107606
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- 操作扫描探针显微镜的方法和装置
- 中文摘要：一种改进的AFM成像模式(峰值力抽头(PFT)模式)使用力作为反馈变量来减少针尖-样品相互作用力，同时保持现有AFM操作模式可实现的扫描速度。 样品成像和机械性能映射通过提高分辨率和高样品吞吐量来实现，该模式可在不同环境下工作，包括气体、流体和真空环境。
- 申请日：2014-5-27 申请号：：US14288180
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