|
| - 一种降低临界尺寸电荷的方法扫描电镜计量法
- 中文摘要：本发明提供了在通过光刻产生的结构中的临界尺寸(CD)的扫描电子显微镜(SEM)计量学期间减少或消除电荷累积的方法和组合物。 在结构的构造中使用包括硅的底层。 当使用SEM扫描包括含硅底层的光刻结构以获得CdS时，底层在SEM计量观察期间减少或消除电荷累积。
- 申请日：2014-1-17 申请号：：US14157804
-
- 用于临界尺寸扫描电子显微镜电磁干扰屏蔽的系统和方法
- 中文摘要：描述了用于CD-SEM的EMI屏蔽的系统和方法。 一个实施例是扫描电子显微镜(“SEM”)，其包括用于产生指向样品的电子束的电子枪； 二次电子(“SE”)检测器，用于检测响应于电子束从样品反射的二次电子； 以及双层屏蔽，其设置在SE检测器周围并包围SE检测器。 屏蔽层包括磁屏蔽层和金属箔层。
- 申请日：2014-1-17 申请号：：US14158591
-
- 生物透射电镜制样快速取样器
- 中文摘要：生物透射电镜制样快速取样器。传统透射电镜徒手切片法对于操作者的技能水平依赖极强，制作切片时需双手同时反方向切割操作，对于技师的年龄、视力、手部力量及双手协调性要求较高，稍有差池，就会造成科研样本的损失。本实用新型的组成包括 : 刀具A(1<...
- 申请日：2014-1-16 申请号：：CN201420026992.0
-
- 激光扫描显微镜和放大器单元
- 中文摘要：激光扫描显微镜与至少一个扫描器用于改变取向的照明光，和至少一个检测器，用于检测样品光，与放大器单元，用于放大检测信号的检测器，优选APD(光电倍增管)(雪崩光电二极管)或PMT，其中所述放大器单元包括可调电容，所述功能的扫描仪的扫描速度可调。
- 申请日：2014-1-16 申请号：：DE102014000473
-
- 用于电子显微镜的样品载体
- 中文摘要：本发明公开了用于电子显微镜的样品载体。本发明涉及用于透射电子显微镜的样品载体(10)。当使用现有技术样品载体时，比如与检测器检测例如以大发射角发射的X射线相组合的半月形格子时，遮蔽是个问题。当执行其中样品在大角度内旋转的断层摄影时出现类似问题。本发明通过将毗连样品与格子之间的接口的格子部分(16)形成为锥形部分来提...
- 申请日：2014-1-15 申请号：：CN201410016917.0
-
|