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| - 扫描电镜系统和使用其的图案测量方法,和扫描电子显微镜
- 中文摘要:要解决的问题 : 3D所示的NAND镗孔过程中,非常高纵横比的开口孔/开口确定,或,顶部/底部的孔直径测量·检测,孔底中产生的检测反向散射散衬电子(BSE)。方法 : 在高加速度的加速电压初级电子束到样品,低角度(仰角5度以上,例如)通过检测背散射电子(BSE),从底部排出的壁上穿,孔底处观察到的“BSE穿透”。此...
- 申请日:2013-12-2 申请号::JP2013249249
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- 利用暗场显微镜同时进行指纹识别与分析物检测的方法
- 中文摘要:本发明涉及利用暗场显微镜同时进行指纹识别与分析物检测的方法,包括如下步骤:利用纳米等离子体激元材料和核酸适体制备纳米等离子体激元探针;处理基底并利用该基底获取潜指纹;将所述纳米等离子体激元探针滴加于已获取潜指纹的基底上,使得所述潜指纹与所述纳米等离子体激元探针结合;利用暗场显微镜进行检测。本发明提供的指纹分析方法不...
- 申请日:2013-12-2 申请号::CN201310633293.2
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- 在带电粒子显微镜中执行样本的层析成像的方法
- 中文摘要:一种在带电粒子显微镜中执行样本的层析成像的方法,其包括以下步骤:提供沿粒子光轴传播的带电粒子射束;将样本设置在可关于所述射束倾斜的样本座上;在成像步骤中,引导射束穿过样本,以便在图像探测器处形成和捕获样本的图像;在一列样本倾斜中的每一个下重复该程序,以便获得对应的一组图像;在重建步骤中,数学地处理来自所述组的图像,...
- 申请日:2013-11-29 申请号::CN201310624541.7
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- 透射电子显微镜样品的固定装置
- 中文摘要:本发明公开了一种透射显微镜样品的固定装置,其包括金属片,弹性件以及紧固件。金属件由相连的薄片部件和中空的环状固定部件构成;其中薄片端部用于固定所述金属网,环状固定部内壁具有环形台阶;弹性件设于环形台阶上;紧固件包括第一固定元件和第二固定元件,所述第一固定元件通过弹性件将所述环状固定部件固定在第二固定元件上。本发明避...
- 申请日:2013-11-29 申请号::CN201310631447.4
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- 光学显微镜系统用于同时观察空间上不同的感兴趣区域
- 中文摘要:本发明涉及一种光学显微镜系统(10)用于同时测量至少两个空间上不同的区域感兴趣的,其特征在于 : 包括至少两个不同的光学测头(12a,12b,12c)可同时聚焦在感兴趣的空间上不同的任意的区域,每个光学测量头光连接有至少一个扫描头(14),光学显微镜系统还包括控制系统(32)连接到至少一个扫描头和光学测量头,所述控...
- 申请日:2013-11-28 申请号::WOHU13000114
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