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| - 补偿关键尺寸扫描电子显微镜检测图案倾斜的方法
- 中文摘要：本申请公开了一种补偿关键尺寸扫描电子显微镜CD-SEM检测图案倾斜的方法，其特征在于，该方法包括：选择同一晶片的同一区域的图案，作为关键尺寸扫描电子显微镜CD-SEM的检测区域；选择CD-SEM的探测器不同的偏转角度，获得每个偏转角度所对应的检测区域的图案CD，得到偏转角度与图案CD的对应关系；根据偏转角度与图案C...
- 申请日：2013-10-18 申请号：：CN201310489519.6
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- 盖部件，显微镜，观察方法及观察装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 高倍率观察的培养中的细胞。方法 : 盖部件，在显微镜物镜面对着待观察物体和介于所述待观察对象，待观察物体，其从注射注入和传输部分，用于发送光，所述传动部件保持，在待观察表面面向所述传动部件当其浸入液体中，该物镜在与液体接触，并防止接触预防部分设置，在盖构件，和传动部分，其保持的接触预防部分可包括覆...
- 申请日：2013-10-18 申请号：：JP2013217728
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- 一种透射电子显微镜样品的固定装置
- 中文摘要：本发明公开了一种透射电子显微镜样品的固定装置，属于半导体制造装备技术领域。所述固定装置包括：用于承载样品的样品杆，弹片，还包括固定连接在所述样品杆上的弹簧螺丝，所述弹簧螺丝穿过所述弹片的第一端；所述弹簧螺丝具有锁紧状态以及释放状态，当该弹簧螺丝位于锁紧状态时，所述弹片的第二端抵靠在所述样品上；当该弹簧螺丝位于释放状...
- 申请日：2013-10-18 申请号：：CN201310491553.7
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- 使用阵列显微镜系统成像物体的方法和制造产品
- 中文摘要：本发明揭示了一种使用阵列显微镜但不使用扫描的物体成像准备的方法。在阵列显微镜的物平面上，根据阵列显微镜独立物镜数组的模式，将原始的连续的物体分为独立物体片段，然后组成物体数组，成像形成一个无修饰的图像。每个物体片段的大小不得超过物平面确定的独立物镜视野的大小。
- 申请日：2013-10-18 申请号：：CN201310493470.1
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- 显微镜用照明装置及使用该照明装置显微镜
- 中文摘要：一种显微镜照明装置， 空间调制部分、第一照明光学系统、第二照明光学系统和空间调制部分包括反射型空间调制元件和偏振元件，第一照明光学系统设置在从光源到空间调制元件的光路中，第二照明光学系统设置在从空间调制元件到样本位置的光路中，并且空间调制元件的位置与样本位置共轭。 此外，显微镜包括照明设备、主体部分、观察单元和控制...
- 申请日：2013-10-17 申请号：：US14056765
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