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  • 环境扫描电子显微镜气体喷射系统
  • 中文摘要:一种气体喷射系统提供了样品表面处的局部区域,其具有足够的气体浓度来由次级电子电离以中和样品表面上的电荷。在一些实施例中,气体集中结构将气体集中在表面附近。气体集中结构中的可选的孔允许带电粒子束冲击护罩区域的内部。在一些实施例中,表面附近的阳极增大返回至工件表面用于电荷中和的离子的数量,阳极在一些实施例中为气体喷射系...
  • 申请日:2013-7-30    申请号::CN201380040374.X

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  • 基于音叉测量近场探头的光谱和使用其的近场显微镜方法,频谱分析方法使用近场显微镜
  • 中文摘要:本发明涉及近场显微镜端探头分散存储装置存储在室在除去,纳米探针多重轴上发生的其生成适配,通过延迟一个质谱分析试图使。本发明的特征1的数,相互隔开设置1号2号电极和电极,电极的所述数量1标本的一侧连接垂直向下的方向相对于所述探针纳米型线它是基于音叉振动具有在近场透镜的焦点,探针带起,用于以大于约讨论的形状导线长度,多...
  • 申请日:2013-7-29    申请号::KR1020130089529

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  • 光电检测器,特别是用于高分辨率光光栅显微镜
  • 中文摘要:光电检测器(1)例如通过一保护盘与光电倍增管(1a)封闭的光入射范围(1b)由于对你的检测器元件的大小可(1c)只大的费用,用于接收图像衍射限制的病灶体积二维分辨的方式,即使增加了清晰的图像的焦点,体积相对于。本新型检测器的是使该空间分辨检测成本低,高精度的点图像的功能。为此而一玻璃或玻璃-陶瓷体的开口,在其一个端...
  • 申请日:2013-7-26    申请号::DE102013012609

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  • 本发明提高质量的扫描带电粒子显微镜和扫描带电粒子显微镜
  • 中文摘要:所要解决的问题 : 提供一种技术,用于加强所述下层图案的多层对比度,通过合成从多个检测器的检测信号通过使用适当的分配比相对应的图案排列。溶液 : 在带电粒子束装置及其图像质量的图像质量的改进方法,其允许改进利用从多个检测器检测得到的图像,用于创建一个或多个输出图像的方法利用检测从各自对应的输出图像探测器在不同位置利...
  • 申请日:2013-7-24    申请号::JP2013153835

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  • 电子显微镜.
  • 中文摘要:要解决的问题 : 提供一种透射电显微镜能够准确地获得衍射图案在纳米区,不电子束损伤. 溶液 : 一种透射电子显微镜包括 : 物镜照射到样本与从电子源发射的电子束汇聚传输电子,透射通过样品. 一检测器,检测传输通过样品传送的电子. 限位孔,该孔的下方设有物镜和限制传输电子. 一种电子束偏转器,其设置在所述样品上方,偏...
  • 申请日:2013-7-24    申请号::JP2013153167

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