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| - 透射电子显微镜物镜光阑
- 中文摘要：本发明提供了透射电子显微镜物镜光阑，包括光阑板、与光阑板连接的螺纹杆，以及和螺纹杆连接的手柄，所述物镜光阑沿着光阑板的轴线具有一系列C形开孔。本发明的优点在于：光阑C形开孔中心的挡板可以阻挡透射电子束参与透射电镜高分辨成像，提高图像的信噪比和分辨率，且光阑板上设置了一系列不同尺寸规格的C型光阑开孔，通过选择规格合适...
- 申请日：2013-3-17 申请号：：CN201310083609.5
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- 扫描透射电子显微镜中提高原子序数衬度像质量的方法
- 中文摘要：本发明提供了一种扫描透射电子显微镜中提高原子序数衬度像质量的方法，包括如下步骤：在扫描透射模式下旋转样品得到样品的会聚束衍射图；将多通道高角环形暗场探测器放入光路中，改变衍射图的大小，使衍射斑点从环形探测器的中心圆孔中穿过；扫描样品并采集高角环形暗场探测器各通道信号；舍弃包含菊池线信号的通道，并即采用其余通道的信号...
- 申请日：2013-3-17 申请号：：CN201310083608.0
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- 斜背光相差显微镜
- 中文摘要：提供了一种创建相位对比度图像的方法。 在一些实施例中，该方法包括用第一光源照射样品的目标区域，以提供样品的目标区域的第一斜背照明，以及从来自第一光源的光检测第一相位对比度图像，并且从后照射样品的目标区域的光检测第一相位对比度图像。在一些实施例中，该方法包括用第一光源照射样品的目标区域，以提供样品的目标区域的第一斜背...
- 申请日：2013-3-15 申请号：：US14388847
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- 相位对比显微镜检查的具有倾斜的背照明
- 中文摘要：创建一相的对比度的图像是提供一种方法。在一些实施例所述方法包括照明所述目标区一个样品与第一的光源，以提供一种第一所述的目标区域的倾斜背照明该样品，并检测一第一相位从光从第一始发的光的对比度图像源和背照明所述目标区的所述样品。在某些实施例所述方法还包括照明所述样品与第第二光源以提供一第二倾斜该样品的背照明的目标区域，...
- 申请日：2013-3-15 申请号：：WOUS13032517
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- 掩模和晶片扫描电子显微镜配准或覆盖测量的布局
- 中文摘要：本发明提供了一种用于分别形成包括植入层的FEOL层的叠层覆盖和配准监控结构以及用于形成包括BEOL互连的BEOL SEM覆盖和配准监控结构的方法和所得到的装置。 实施例包括在半导体衬底上的有源层中形成有源监控结构，该有源监控结构具有以第一距离隔开的第一和第二边缘； 形成具有第一和第二边缘的多晶监控结构，所述第一和第...
- 申请日：2013-3-15 申请号：：US13835147
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