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| - 用于测量覆盖的方法，测量装置，扫描电子显微镜，和GUI
- 中文摘要：一种用于测量的方法，其上覆盖一半导体装置的一电路图案的形成是使用多个曝光步骤，其中所述的方法用于测量覆盖其特征是在被提供有一种图像捕获步骤，用于捕获一个所述的半导体装置的多个区域的图像，一个参考图像设置步骤，用于设定一个基于参考图像在多个所述图像中捕获的图像的捕获步骤，一差-量化步骤，用于量化所述参考图像之间的差设...
- 申请日：2013-2-6 申请号：：WOJP13052657
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- 原子力显微镜薄膜探针针尖的制作方法
- 中文摘要：通过在晶片衬底上沉积薄膜并蚀刻衬底以留下手柄、悬臂和悬臂中的探针尖端形式的薄膜，可以提供用于原子力显微镜的探针。 在一些实施例中，可通过在第一晶片上形成探针铸模、将第二晶片接合到第一晶片上、以及图案化第二晶片以在第一晶片上限定用于探针的基板来实现用于探针的薄膜基板。在一些实施例中，可通过在第一晶片上形成探针铸模、将...
- 申请日：2013-2-5 申请号：：US13759465
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- 模块式原子力显微镜
- 中文摘要：一种模块化AFM/SPM，部分通过使用较小的探头提供较快的测量速度，测量力和运动较小，无噪声伪像，而这些器件的老一辈产品已越来越无法提供这些功能。 模块化AFM/SPM包括底盘，仪器模块支撑在底盘上； 视图模块，提供用于观察样品和探针的光学器件； 头部模块，其提供用于所述光杠杆装置以及用于操纵和聚焦所述部件的所述部...
- 申请日：2013-2-5 申请号：：US13759316
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- 非相干透射电子显微镜
- 中文摘要：透射电子显微镜包括产生电子束的电子束源。 提供束光学器件以会聚电子束。 像差校正器校正电子束的至少一个球面像差。 提供试样保持器以将试样保持在电子束的路径中。 一个探测器被用来探测穿过样品的电子束。 透射电子显微镜可以在非相干模式下操作，并且可以用于定位分子上的对象序列。
- 申请日：2013-2-4 申请号：：US13759029
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- 透射电子显微镜
- 中文摘要：一种透射电子显微镜(100)，包括电子束源(2)、照明透镜(10)、物镜(20)、中间透镜系统(30)、位于中间透镜系统(30)后面的一对转移透镜(40)和用于根据能量分离透射通过样品(S)的束L的电子的能量过滤器(60)。 传送透镜(40)将第一图像传送到能量滤波器(60)的入口交叉平面(S1)，并将第二图像传送...
- 申请日：2013-2-4 申请号：：US13757939
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