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| - [docdb]光学显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 使图案投影测量，同时保持这种光学显微镜方便的观察放大倍数可以自由改变，和限位的扩大的最小必需显微镜. 溶液 : 第一和第二光投射部(110)各由光学系统，具有一个固定倍率(典型例如，双面远心透镜). 变焦透镜用于在光接收部(120)，使光接收部120可以接收中的光放大率范围广. 成像装置121a)...
- 申请日：2012-11-30 申请号：：JP2012262718
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- 电子显微镜系统和方法用于评价抗蚀剂图案的膜厚度减小
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种用于实现检测和测量系统的抗蚀剂膜的厚度降低图案与高吞吐量，其可以被施加到部分-线过程中的管理。溶液 : 所述的电子显微镜系统包括 : 电子束图像获取装置，用于获取图像的一个样品具有一其一个表面上形成抗蚀剂图案使用一种扫描电子显微镜; 量化装置，用于量化一个在所述图像的亮度变化的特征在所希...
- 申请日：2012-11-30 申请号：：JP2012261855
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- 一种多功能扫描电镜样品台
- 中文摘要：本实用新型目的在于提供一种多功能扫描电镜样品台，使用该样品台能够实现样品的表面、截面、不同倾斜角、不同高度的测试同批次进行，达到节省扫描电镜测试时间以及降低测试成本的目的。其特征是该样品台由一个圆形基板，几个长方体块，一个长方形平板几部分组成。圆形基板用来进行样品的表面测试以及固定其他部件；长方体块可以用来进行样品...
- 申请日：2012-11-30 申请号：：CN201220666923.7
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- [docdb]测量显微镜装置以及采用该图像拍摄方法
- 中文摘要：所要解决的问题 : 本发明提供一种能够进行具有三维轮廓信息的测量和光学图像的观察的显微镜中的照明光和测量光之间的干涉的测量显微镜装置，该测量显微镜装置包括 : 高度图像获取装置，用于基于多个条纹图像获取高度图像； 控制测量光投射装置的测量控制部150； 以及主体壳体，其容纳测量光投射装置和图像拾取装置100。 所...
- 申请日：2012-11-30 申请号：：JP2012263869
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- [docdb]光学显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一种用于显微镜的照明装置可均衡的配光特性的多个光源从而抑制色移的发生，即使在合成从所述多个光源的光束，具有相对简单的结构. 溶液 : 光束从光源704传播通过准直透镜712，双侧远心镜头系统714和光纤束(导光电缆702)，用于照明的观察区域. 在光纤束构成导光线缆702，光纤不规则彼此交叉....
- 申请日：2012-11-30 申请号：：JP2012262717
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