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| - 一种利用扫描电子显微镜测量器件台阶高度的方法及装置
- 中文摘要：一种使用扫描电子显微镜(SEM)测量装置的台阶高度的方法， 该方法可以包括提供包括第一区域和第二区域的器件， 其中在所述第一区域和所述第二区域之间形成台阶， 通过使用SEM对所述设备进行拍照来获得所述设备的SEM图像， 其中所述SEM图像包括用于所述第一区域的第一SEM图像区域和用于所述第二区域的第二SEM图像区域...
- 申请日：2012-11-19 申请号：：US13680347
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- 显微镜装置
- 中文摘要：根据本公开的显微镜装置(本显微镜装置)包括 : 光源，被配置为振荡相干照明光，照明光被施加在样本上； 检测单元，被配置为检测来自所述样本的荧光作为反馈光，所述样本被照射有所述照明光； 相位分布控制单元，设置在所述照明光的光路中，所述相位分布控制单元被配置为控制所述照明光的相位分布； 控制器，被配置为控制所述相位分布...
- 申请日：2012-11-16 申请号：：US13678694
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- 密封原子力显微镜池
- 中文摘要：提供一种测量精度不降低且观察液的种类不受限制的密封AFM单元。 根据本发明的密封AFM单元包括 : 悬臂，包括探针； 用于固定所述样品的样品保持器； 扫描器，用于移动所述样品保持器； 盖部，其保持所述悬臂，以便将所述探针定位在所述样品的测量表面附近； 和主体部，该主体部是用于保持扫描器的部件，并且位于与盖部相对的位...
- 申请日：2012-11-15 申请号：：US14357011
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- 用于电子显微镜和光纤双激光束系统
- 中文摘要：本发明公开了一种电子显微镜和光纤系统，用于使用具有不同特性的两束分开的激光束对多种材料进行处理和成像。 第一激光束用于工件的大体积材料去除和深沟槽蚀刻。 第二激光束用于更精细的精密加工，例如工件的微加工、小光斑加工或产生小的热影响区。 第一激光束和第二激光束可以来自相同的激光源或者来自不同的激光源。 具有一个激光源...
- 申请日：2012-11-15 申请号：：US13677854
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- 模式转换用于显微镜的照明系统
- 中文摘要：第一两种模式1和2之间，用于显微镜的第第一模式切换系统中的照明系统，光源1，准直光束，光束路径中的光束2，2的两个或多个不同的策略可以设置在位置有更多的选择镜和1，1第二注射的射束路径中直接在光束路径，光束的光束路径中的反射镜和取向沿第一使该照射模式1，2第一的光束路径，通过选择光束选择镜子和镜unsealabil...
- 申请日：2012-11-14 申请号：：JP2014541008
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