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| - 电子显微镜和装置,用于保持样品用于电子显微镜
- 中文摘要:本发明的目的是提供一种电子显微镜和一种装置用于保持一个样品用于一个电子显微镜,其中所述温度和湿度的气氛中在所述的电子显微镜单元可以被准确地控制。一个电子显微镜具有一个用于发射第一电子束的电子源,一个物镜,用于使第一电子由所述的电子源发射的光束以会聚和集束第一的电子束到所述样品; 一个检测器用于检测从所述样品所产生的...
- 申请日:2012-11-1 申请号::WOJP12078274
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- 显微镜和控制方法。
- 中文摘要:要解决的问题 : 在一简单的操作embryogenesis指定所述主轴的位置,以提供一种控制方法。和一种显微镜,溶液 : 该显微镜1,和一个光源10,和所述聚光透镜14,和所述物镜透镜18,和所述偏振器11,光源10所述聚光透镜14所述的光学路径中的Xa和可绕所述偏振器之间的光学路径11上设置Xa,根据旋转角从一参...
- 申请日:2012-11-1 申请号::JP2012242255
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- 一种临界尺寸扫描电镜机台
- 中文摘要:一种临界尺寸扫描电镜机台,其包括交换腔、中转腔、测量腔、用以放置晶圆的支撑台、控制支撑台上升或下降的驱动器、转置晶圆的交换臂、抽气泵,所述支撑台上设有在抽气泵停止工作时控制支撑台停止运动的紧急制动装置。本实用新型通过设置紧急制动装置,使得临界尺寸扫描电镜机台在支撑台正常退片突发抽气泵跳掉时,支撑台在自动升起过程中紧...
- 申请日:2012-11-1 申请号::CN201220575933.X
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- 透射电子显微镜和TEM图像观察的方法
- 中文摘要:一传输电子显微镜(TEM)是提供可以减少所述磁场的效果在一个样品在TEM观察的图像。所述透射电子显微镜(100)包括一个电子束源(2),一种照明透镜(4),第一的物镜(6),第二的物镜(8),一选择的区域孔(16),一投影透镜(10),一个检测器(12),和一个控制部分(22)。该控制部分控制至少所述照明透镜(4)...
- 申请日:2012-10-31 申请号::EP12190836
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- 用于扫描显微镜检查相关物体的光学显微镜探头
- 中文摘要:一种用于对物体进行扫描显微成像的光学显微探头,具有壳体和光导,壳体在壳体的远端的侧部位置处具有光学窗口,光导具有刚性耦合到光导的端部的物镜。 光导可移动地安装在壳体的横向方向上,以便能够在感兴趣的区域中进行光学扫描。 中继透镜单元被刚性地安装在探头的远端,并且具有第一透镜,第二透镜和反射镜。 中继透镜单元相对于物镜...
- 申请日:2012-10-31 申请号::US14356931
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