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| - 扫描机构和扫描探针显微镜
- 中文摘要：一扫描机构(10)具有一固定框架(11)，XY-级(13)，其具有一个XY可动部分(14)，其是可移动在该XY方向，和压电元件(12a和12b)，它形成一个XY致动器，其扫描该XY可动部分(14)在该XY方向上。该扫描机构(10)还具有一压电元件(21)保持由该XY可动部分(14)，一夹持器(22)保持通过所述压电...
- 申请日：2012-4-4 申请号：：WOJP12059249
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- 触摸屏幕的基于扫描探针显微镜术(SPM)
- 中文摘要：本发明涉及一种扫描探针显微镜术(SPM)系统(1)包括一个样品台(2)和一个或多个样品的运动阶段(4)用于致动所述样品级(2)，SPM探针(5)和一个或多个探针运动阶段(6)用于致动所述SPM探针(5)和用于执行一个SPM扫描的一个样品(3)设置在所述样品级(2)，和一系统控制器(11)。所述系统控制器(11)包括...
- 申请日：2012-4-2 申请号：：EP12002390
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- 应用于扫描电子显微镜的样品座
- 中文摘要：本实用新型涉及应用于扫描电子显微镜的样品座，属于半导体芯片制造行业的失效分析领域。该样品座包括底座、设置于底座顶部的金属平台以及位于金属平台的工作面的弹性夹具，芯片样品直接放置在金属平台的工作面，所述弹性夹具压住芯片样品、并将芯片样品固定于金属平台的工作面。本实用新型避免了使用现有技术中的双面导电胶，增加了导电性、...
- 申请日：2012-3-31 申请号：：CN201220138262.0
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- 次优特征的扫描电镜修复
- 中文摘要：公开了一种用于修复光掩模的方法和系统。 扫描电子显微镜(SEM)用于识别、测量和校正缺陷。 SEM以多种模式操作，包括测量模式和修复模式。 修复模式比测量模式具有更高的着陆能量和曝光时间，并且导致光致抗蚀剂中的收缩以校正各种特征，例如过孔太小。
- 申请日：2012-3-30 申请号：：US13435308
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- 超高波数透射元件及其应用近场光学显微镜
- 中文摘要：一种超高波数传输元件，具有至少两个各向异性介质，所述各向异性介质具有彼此互补的等频曲线斜率。 所述至少两种各向异性介质成层，以传输超高波数。
- 申请日：2012-3-30 申请号：：US13435365
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