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  • 扫描电子显微镜和其自动聚焦方法。
  • 中文摘要:要解决的问题 : 扫描电子显微镜观察该样品包含多个所希望的位置中的不均匀的具有高精度可以提供一种扫描电子显微镜进行。溶液 : 该扫描电子显微镜,焦点和所观察的放大倍率或更小,在一个部分的范围聚焦焦点距离被确定,该焦距该图像被存储在所述前后的。这被用于所有可能的执行的焦点距离,然后,基于所存储的图像,每个焦距长度在所...
  • 申请日:2011-11-29    申请号::JP2011259903

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  • 用于该显微镜的物镜的聚焦装置
  • 中文摘要:beschriebenISTeineeinrichtung用于fokussierenmikroskopobjektivs(26)aufeine的探针(18)。管芯具有grundkrpereinrichtungumfassteinepositioniereinheit(20)的MIT(22),具有一个DEMgrund...
  • 申请日:2011-11-28    申请号::EP11190906

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  • 显微镜物镜
  • 中文摘要:本发明提供一种具有组装效率较好的结构、而且良好地校正像差的显微镜物镜。显微镜物镜(1)从物体侧起依次包括由凸面朝向像侧的1个透镜成分(L1)构成的具有正光焦度的第1透镜组(G1)、由凹面朝向物体侧的凹凸透镜成分(CL1)构成的具有负光焦度的第2透镜组(G2)、具有正光焦度的第3透镜组(G3)。当将f1作为第1透镜组...
  • 申请日:2011-11-28    申请号::CN201110396138.4

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  • 所述沟槽的深度和所述沟槽的深度测量装置和方法用于测量共焦显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 沟槽的宽度大约相同波长的光用于照明一高纵横比和测量所述沟槽的深度和所述沟槽的深度测量装置可以被实现。溶液 : 该照明光学系统,用于产生一个线光源装置1-4的照明光束和所述光束投射向该样品具有一物镜透镜6,和所述物镜的光源装置在所述光瞳位置透镜的所述沟槽之间和在所述纵向方向平行的线状pupile图案...
  • 申请日:2011-11-28    申请号::JP2011258673

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  • 受激拉曼散射显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以降低损伤到该单元,该区域中的单元的所述指纹成像可以被进行受激拉曼散射。溶液 : 该受激拉曼散射本发明的显微镜1,第二的光脉冲1ω1和产生一个第一激光光源12,1脉冲ω1的光第二的频率低于所述第一光脉冲2ω2和产生一个第一激光光源23,第一中提供一种光学所述光脉冲的路径2ω2,0的入射光。5MHz...
  • 申请日:2011-11-28    申请号::JP2011259619

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