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| - 扫描电子显微镜的检测方法
- 中文摘要：本发明涉及一种扫描电子显微镜的检测方法，用于对其上具有多个芯片的晶圆进行缺陷检测，包括：导入缺陷晶圆的文件；将待测晶圆放置于扫描电子显微镜的承载台上；将待测晶圆上的某一芯片拐角设定为起始位置；对该待测晶圆进行位置校正；获得两种机型腔体中心位置的晶圆级别的偏差值；选择一待测芯片，利用晶圆级别的偏差值修正其芯片拐角在该...
- 申请日：2011-11-28 申请号：：CN201110386090.9
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- 显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 一种图像形成透镜后，所述光学部件而不增加该尺寸不均匀的分布所述图像平面中亮度可被抑制的，和所述物镜之间的所述无限-校正透镜的透镜所述的光学单元提供与一个空间用于设置所述显微镜和技术。溶液 : 无穷大的校正类型的物镜1和所述图像形成透镜4之间，光路分支部件(光学路径分支部件3a，光路分支部件3b)包...
- 申请日：2011-11-28 申请号：：JP2011259570
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- 显微镜照明安装和-进行
- 中文摘要：本发明涉及一种显微镜的照明系统第一之间用于切换，共焦和第二，非共焦显微镜照明模式，该系统具有一照明单元，即，照明模式中，以便提供第一，包括一个照明源用于生成一个平行于所述的光学轴照明光束传播; 一扫描镜，用于偏转该照明光束垂直于所述的光学轴; 和一扫描目镜和一下游扫描管透镜，用于成像扫描反射镜到所述的后焦一种显微镜...
- 申请日：2011-11-28 申请号：：DE102011087196
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- 扫描电子显微镜的可旋转固定器的精度监控方法
- 中文摘要：本发明公开了一种扫描电子显微镜的可旋转固定器的精度监控方法，其包括以下步骤：提供表面上带有角刻度的标准件；将该标准件放置到该可旋转固定器的支撑面上，使电子枪对准该标准件上的第一角位置：在扫描电子显微镜中输入一预定角度，以使可旋转固定器旋转该预定角度，此时，该电子枪对准该标准件上的第二角位置，并通过扫描获得该第二角位...
- 申请日：2011-11-28 申请号：：CN201110386089.6
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- 一种用于透射电子显微镜的样品载网盒
- 中文摘要：本实用新型公开了一种用于透射电子显微镜的样品载网盒，以解决现有电镜样品盒不能较好地固定样品载网的问题。它包括底盒和盒盖，所述底盒内设有载网架，所述载网架顶部设有载网槽，所述盒盖内与载网架相对位置设有套筒，所述套筒套在载网架上，所述套筒的内径大于载网架的外径，所述载网架呈半圆柱形，所述载网架侧部设有缺口。本实用新型的...
- 申请日：2011-11-28 申请号：：CN201120481001.4
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