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| - 扫描型激光显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以令人满意地获得一个希望的图像观察的样品，同时防止损伤到一个光检测器过大而造成的入射光。溶液 : 所述扫描型激光显微镜100包括 : 扫描装置21，其用于样品进行二次扫描通过使用的激光束从一光源; 光检测装置32检测从所述样品的光并输出一对应的光强度信号到所述亮度所述检测到的光; 保护装置33，它...
- 申请日：2011-9-29 申请号：：JP2011214862
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- 具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜
- 中文摘要：本发明涉及一种具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜, 本发明具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜将从光源生成的原电子(Primary Electron)射入样品, 并检测所述原电子入射後从样品放射出的放射电子, 其特徵在於包括 : 维恩过滤器部, 配置在所述光源和样品之间, 产生磁场和电场, 以将所述放射电子分离成...
- 申请日：2011-9-29 申请号：：TW100135375
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- “激光扫描显微镜”
- 中文摘要：本发明公开了一种激光扫描显微镜(lsm)由至少一个从其一个照明光源的光束路径在所述样品的方向延伸，至少一个用于发送样品的光检测光束路径，优选荧光的光; 以一检测器阵列包括至少一个检测器，一个第一中的针孔用于共焦滤波前的所述检测器阵列，一个扫描器用于使一相对所述的照明光之间的运动和所述至少一个方向中的样品; 和一个显...
- 申请日：2011-9-29 申请号：：DE102011114754
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- 显微镜装置
- 中文摘要：一种显微镜具有一个物镜，一光源照射样本的照明光束路径上，一个装置的制造一平坦的照明图案，其中所述样品上的两个空间方向中被结构化，一个表面上入射的光检测器检测一个图像光束路径，所述样品上移所述的照明图案排列在一个位移方向，和一个控制单元以一个画面在所述的光被检测的时间通过该检测器作为相位图像在该图案沿所述位移方向不同...
- 申请日：2011-9-29 申请号：：DE102011114500
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- 用于关键尺寸扫描电子显微镜的真空套管
- 中文摘要：本发明公开一种用于关键尺寸扫描电子显微镜的真空套管。所述真空套管为圆环形结构，所述真空套管的内径与关键尺寸扫描电子显微镜的载物台上设置的定位销相匹配，所述真空套管的硬度小于待测晶片的硬度。通过将根据本发明的真空套管安装在关键尺寸扫描电子显微镜的定位销上可以保护待测晶片边缘的定位槽免受损坏，从而提高了晶片的出货质量，...
- 申请日：2011-9-29 申请号：：CN201110294192.8
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