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  • 定量化学机械抛光的抛光压力分布的测量方法,利用原子力显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一用于获取一抛光压力分布的方法从一个两维分布的一种测量表面电位通过一个EFM。溶液 : 本发明所述的方法是一种用于获取一抛光压力分布的方法化学机械抛光的。该方法包括处理获得的表面电位的一个对象图像通过测量表面电位,以被抛光,其被抛光的抛光装置与一电力显微镜,和所述表面电位转换到所述数据的基础...
  • 申请日:2011-8-23    申请号::JP2011181186

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  • 显微镜用可伸缩分束器
  • 中文摘要:本发明提供了使用可伸缩分束器照射待显微观察的表面的系统和方法。 当分束器位于操作员视线内时,可伸缩分束器允许使用同轴照明。 可伸缩分束器允许使用非同轴照明,而不减少当分束器从操作者的视线缩回时到达操作者的照明量。 因此,可以有效地使用单个系统来提供各种类型的照明。
  • 申请日:2011-8-23    申请号::US13216178

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  • 用于聚焦基板的方法和装置在一个自动的方式在荧光显微镜
  • 中文摘要:本发明涉及一种用于检查的生物材料的方法和装置(6)中的一种自动化的方式使用一显微镜(8),该XY载物台(9)上的,其中所述生物材料(6)之间设置一滑块(1)或一个分析板和至少一个盖(4),包括至少一个光源(15,16)用于照明所述生物材料(6)和包括一个图像记录单元(17),其记录在所述生物材料(6)的至少一个图像...
  • 申请日:2011-8-23    申请号::WOEP11004227

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  • 电子枪,场发射电子枪,带电粒子束装置及透射电显微镜
  • 中文摘要:本发明的目的是抑制发生的照明弹和减少数量的二次在孔径引起的电子提供给电子枪的引出电极. 通过涂层薄膜具有低二次电子发射率,如碳,在所述孔上的一种引出电极的最接近的电子枪中的电子源,它可以减少产生的二次电子的量. 二次引出电极处产生的电子,减少了,因此作为结果,降低了火炬. 通过将两小孔引出的电极,和施加到两个孔等电...
  • 申请日:2011-8-22    申请号::JP2011180851

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  • 手持式荧光显微镜
  • 中文摘要:本发明提供一种手持式荧光显微镜,其壳体内设置有局部光谱光源、第一滤光装置、第二滤光装置、以及影像感测电路。局部光谱光源用以产生第一光线。第一滤光装置用以对第一光线进行滤光以提供第二光线。第二滤光装置用以对一样本经由第二光线照射后所产生的荧光进行滤光,以提供第四光线。影像感测电路用以接收第四光线以产生荧光影像。壳体的...
  • 申请日:2011-8-22    申请号::CN201110240934.9

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