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| - 一种台式一体化原子力显微镜
- 中文摘要：本实用新型涉及一种台式一体化原子力显微镜，包括主机和金属屏蔽隔音箱，金属屏蔽隔音箱内部下端设有电子控制系统，主机设在金属屏蔽隔音箱内的防震装置上，防震装置通过四根弹簧悬挂在金属屏蔽隔音箱内；主机的下端设有扫描器基座，扫描器基座前侧面的中上方设有精密二维调节装置，扫描器基座的顶端设有扫描器，扫描器的左右两侧对称设有粗...
- 申请日：2011-5-20 申请号：：CN201120163732.4
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- 使用电子显微镜图案尺寸测量方法，图案尺寸测量系统，和电子显微镜设备中用于监控的方法改变在时间
- 中文摘要：预先，所述每个临界尺寸被测量的SEM装置的特征参数，所述的横截面形状的一个对象，以进行尺寸测量是通过一基于模型库(mbl)估计匹配系统，尺寸测量是通过产生信号波形进行通过SEM仿真作为输入用于所估计的横截面形状和所述装置特征参数，和所述差在所述尺寸测量结果被记录作为机的差异。在实际测量值，从所述尺寸的测量结果用于每...
- 申请日：2011-5-20 申请号：：WOJP11002807
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- 扫描隧道显微镜
- 中文摘要：领域 : 仪器制造。内容 : 在一个扫描隧道显微镜，包括 : 一尖峰，一个可拆卸的准确piezodrive通过轴X，Y，Z，一个样品夹持器与一个其接近与所述尖峰的间距piezodrive，一个单元到测量隧道电流，一个单元以记录所述的测表面的形貌与一控制计算器，一个单元，以补偿电压脉动，HV电压放大器由X，Y，Z轴，...
- 申请日：2011-5-20 申请号：：RU2011120635
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- 扫描探针显微镜和表面形状测量使用相同的方法
- 中文摘要：它具有难以高精度地测定使用扫描探针显微镜样品的所述简档在该时间当由于扫描机构扫描被执行的所述非驱动方向中的波动，I。E。，垂直方向。本发明是提供具有，所述的后侧上的一个样品台，一个高精度位移计，用于测量所述非驱动方向中的波动，I。E。，垂直方向，在该时间时，所述样品级是被扫描在所述水平方向，和作为结果，高度准确的平...
- 申请日：2011-5-20 申请号：：WOJP11061680
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- 电子显微镜
- 中文摘要：本发明公开了一种电子显微镜，其中一个磁场浸没式冷-Fe的电子枪(1)包括 : 一冷阴极的场致发射电子源(101); 一磁透镜(120)位于该圆周的所述的电子源; 和吸气剂泵(16a，16b)，用于提高所述内部的真空度所述的电子枪。当该电子源是清洗(409)，所述电子清洗后的光学系统的该参数被返回到清洗之前，所述相同...
- 申请日：2011-5-18 申请号：：WOJP11061403
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