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| - 紧凑型扫描探针显微镜
- 中文摘要：一种用于包括头部的扫描探针显微镜(SPM)的扫描器，具有容纳致动器的扫描器主体和检测扫描器移动的传感器。 扫描器主体可通过手从头部移除，并且不使用工具，并且具有小于约五(5)平方英寸的总体积。 提供了用于确保耦合到扫描器的探针装置的运动基本上仅限于在预期方向上的装置。 扫描器的基波谐振频率可以大于10kHz。
- 申请日：2011-4-29 申请号：：US13068052
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- 扫描电子显微镜
- 中文摘要：目的 : 一种扫描电子显微镜被提供到支撑一个晶片通过包括一支撑适配器通过执行一个表面检查用于所述后侧的所述晶片。
构成 : 一束照射部(11)与一个光束照射一个晶片。一支撑适配器(12)支持所述晶片由被接触到所述边缘的顶部和底部平面的所述晶片。所述支撑适配器包括一个接地引线。所述支撑适配器是所述晶片和包括对准... - 申请日：2011-4-29 申请号：：KR1020110041107
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- 扫描电子显微镜
- 中文摘要：目的 : 一种扫描电子显微镜被提供到用于一特定区域仅检查该表面通过照射所述特定一晶片与一光束的区域。
构成 : 一晶片(6)被设置在一个级。一限制控制单元(3)限制了照射一个光束的照射区域以比一局部区域的所述晶片是与所述束照射。所述照射限制控制单元包括一个保护线圈。一种中孔，其中所述光束穿过一护板上形成。一束... - 申请日：2011-4-29 申请号：：KR1020110041104
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- 扫描电镜成像法
- 中文摘要：一种使用扫描电子显微镜(SEM)调查样品的方法， 包括以下步骤 : 在多个(N)测量会话中使用探测电子束照射样品的表面， 每个测量会话具有从这样的值的范围中选择并且在测量会话之间不同的相关联的射束参数(P)值；在每个测量会话期间检测由样品发射的受激辐射， 将被测对象(M)与其相关联，并针对每个测量会话记录该被测对...
- 申请日：2011-4-29 申请号：：US13098300
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- 优化的信号采集系统，用于检测阴极，光谱分辨率和亮度的保存，并实现显微镜系统
- 中文摘要：可调系统，包括收集光学器件(112)，用于收集从样品中获得的光辐射照射束带电粒子和反射的光辐射到分析单元，该集光镜片沿尺寸定位装置，外圆柱形管，其设置有相对于光反射的辐射的传播轴所述集光并刚性地固定到收集光学器件，和置于外筒内的圆柱形管(306)，用于接收所述光辐射的适配单元。可调系统，包括收集光学器件(112)，...
- 申请日：2011-4-29 申请号：：EP14156672
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