要解决的问题 : 提供了一种随动式的扫描检测到的光机构因惯性振动噪声降低时产生的力进行XY扫描.
溶液 : 扫描机构10包括 : 固定框架(11). X-Y载物台13具有XY移动部分14可在XY方向移动. 和压电元件(12A和12B)构成XY致动器可动部(14)在XY扫描所述XY方向. 所述扫描机构10...
总计: 14021 篇 首 页 上一页 下一页 末 页