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| - 自动聚焦装置和显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种自动聚焦装置的聚焦对象的透镜到任意位置一样品和继续跟踪所述样品。溶液 : 一个自动聚焦装置1具有 : 一个用于聚焦的照明光学系统5辐射一狭缝图像(投影图像)。样品18上的一狭缝板22通过一个第一对象的透镜12; 一种图像形成用于聚焦光学系统7用于接收所反射的光投影的图像从所述样品18通过...
- 申请日：2011-2-18 申请号：：JP2011032866
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- 扫描电子显微镜和使用相同的检查方法
- 中文摘要：本发明提供一种高-分辨率扫描电子显微镜具有最小的像差，和配备有一电-光配置，它可以形成一个倾斜光束具有广角偏振和一期望的角度，而不干扰与一个电磁透镜。还提供一种使用所述相同的测量方法。在该扫描电子显微镜，一个电磁偏转装置(201)上方设置一个电磁透镜(207)，和一个控制电极(202)提供电子被加速或减速时，作为以...
- 申请日：2011-2-18 申请号：：WOJP11053440
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- 显微镜系统和观测方法。
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一种显微镜，具有一物镜移动在所述垂直方向，能的聚焦与参考到所述所述物镜和一阶段之间的距离和高度所述物镜的透镜。溶液 : 所述显微镜包括一个阶段支撑具有 : 其中样品被安装上一阶段; 一冷凝器保持器，它可以保持一聚光透镜; 和一冷凝器保持器座，其固定该阶段和所述冷凝器保持器，以一基座的一个显微镜...
- 申请日：2011-2-17 申请号：：JP2011031802
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- 扫描电子显微镜的操作方法
- 中文摘要：一种使用扫描粒子束显微镜检查物体的方法，所述方法包括 : 通过横向扫描所述高分辨率模式的粒子束，以高分辨率模式操作所述显微镜； 以3D模式操作显微镜，用于通过横向扫描3D模式的粒子束来获取物体的三维表示； 其中高分辨率模式的粒子束和3D模式的粒子束具有相同的束能量和相同的焦距； 并且其中3D模式的粒子束的孔径角比高...
- 申请日：2011-2-17 申请号：：US13029998
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- 光电显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一光电显微镜在其不仅样品的真实图像，但还一种电子衍射图像可被观察到。溶液 : 一光电显微镜，其图像中从一个样品通过一个物镜发射的光电子通过照射所述样品与光从一光源，和获得一个放大图像，所述物镜包括两个或多个电极，和所述两个或多个电极被安装在这样的一种方式使所述两个电极之间的光通过。在所述光电显...
- 申请日：2011-2-17 申请号：：JP2011032420
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