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| - 缺陷提取扫描电子显微镜检查系统，和提取方法，其
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一种与一种扫描电子显微镜检查系统，用于执行一个检查用于所述一基板上的一缺陷检测的目的与一电路图案的半导体装置，一个液晶，或该等在其上形成，其允许所述的易于识别一微小缺陷和伪一个其已经硬以识别，和一种检查方法。溶液 : 该方法包括 : 一伪缺陷检测一个有缺陷的位置或通过加入真正的缺陷的图像或获得...
- 申请日：2011-2-17 申请号：：JP2011031514
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- 扫描显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一个扫描显微镜具有一个小尺寸和重量轻的XY电磁镜一对。溶液 : 该扫描显微镜具有 : 一激光单元，其是一光源，用于发射一激光束，其被照明光; 一个物镜，用于冷凝和辐射该激光束在样品16; 和控制型和谐振式电流表扫描器11，12，其中所述激光单元之间设置被扫描部分和所述对象的透镜，用于扫描该样...
- 申请日：2011-2-16 申请号：：JP2011030747
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- 应用于透射电子显微镜的层叠式低像差会聚小透镜
- 中文摘要：本发明公开了一种应用于透射电子显微镜的层叠式低像差会聚小透镜，包括励磁线圈、外磁路、极靴，极靴的下部为层叠式结构，包括多个层叠布置的软磁性材料磁环，相邻的软磁性材料磁环之间采用非导磁材料圆环作为间隔。相邻的所述软磁性材料磁环的厚度比为1∶0.618，自极靴的端部向上按顺序厚度增长呈指数分布。可在较长的工作距离下获得...
- 申请日：2011-2-16 申请号：：CN201110039361.3
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- 立体显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种立体显微镜能够均匀照明的一种的样品与效率，即使当通过切换多个对象的数量被使用的不同放大率的透镜。溶液 : 该立体显微镜包括 : 一个物镜23; 一对的变焦透镜(可变功率的光学系统)24a，24b; 一对的成像透镜25a，25b形成左和右图像28a，28b; 和一个照明装置，用于照明一样品...
- 申请日：2011-2-14 申请号：：JP2011028193
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- 显微镜装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提高工作的效率通过减少检查时间通过获取图像的暗场独立地和同时照明和亮场照明。溶液 : 一个物镜41包括一内筒41b用于保持一个光学系统4a1a，其收集光从样品12和一个透镜镜筒41c，其围绕所述内筒4a的外壁1b和同心地设置之。一种照明光学系统20包括一个偏振器25和一个环-形的半波板27。一个...
- 申请日：2011-2-14 申请号：：JP2011028195
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