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  • 扫描电子显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜在其一个图像是通过同时获得在平行使用多个相邻的电子束,和所述二次分别产生的电子通过各电子束扫描检测。溶液 : 该扫描电子显微镜包括一个运动机构可移动的一平面,同时安装所述样品中的样品; 多个微物镜,其照射样品安装在所述独立地与多个主电子束运动机构,同时聚焦细,偏转器设置在关...
  • 申请日:2011-2-11    申请号::JP2011027970

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  • 超声耦合扫描探针显微镜
  • 中文摘要:扫描探针显微镜包括耦合到音叉或其它声学谐振器的探针尖端,以便当基于所施加的声学信号接触到试样表面时施加剪切力。 第二超声换能器与试样和共振结构声学连通。 基于共振结构中的回声通道模式超声波,可以使用二次换能器来检测探头尖端-试样位移,并且使用基于回声通道模式声波幅度的反馈控制来维持这种位移。
  • 申请日:2011-2-10    申请号::US13025004

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  • 扫描电子显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜中,其中所述一个扫描图像的对比度和亮度可以更适当地调整。溶液 : 该扫描电子显微镜包括一个扫描单元,其与电子束扫描样品,检测器12其检测从所产生的电子通过它与电子束照射样品,一种图像处理单元,其产生通过使所述扫描信息的图像数据和一个检测信号从所述检测器12与每个其它相对应,...
  • 申请日:2011-2-10    申请号::JP2011027619

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  • 暗视野像差矫正电子显微镜
  • 中文摘要:一种电子显微镜, 包括一电子束源(electron beam source)以产生一电子束。以电子束用光学元件(Beam optics)聚集该电子束。一像差矫正器(aberration corrector)至少矫正该电子束之球面像差(spherical aberration)。一位于该电子束路径上的一试片座(spe...
  • 申请日:2011-2-10    申请号::TW100104492

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  • 像差校正暗场电子显微镜
  • 中文摘要:透射电子显微镜包括产生电子束的电子束源。 提供束光学器件以会聚电子束。 像差校正器校正电子束的至少一个球面像差。 提供试样保持器以将试样保持在电子束的路径中。 一个探测器被用来探测穿过样品的电子束。 透射电子显微镜在暗场模式下操作,其中电子束的零束未被检测到。 显微镜也能够在非相干照明模式下操作。
  • 申请日:2011-2-10    申请号::US13024961

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