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| - 扫描电子显微镜的光学条件设定方法和扫描电子显微镜
- 中文摘要：为了提供一种带电颗粒束装置的光学条件设定方法，其使所设定的一个光学条件可抑制该降低的测量和检查的精度由于所述一个电电荷的影响，即使当有许多测量点和检查点，和一带电粒子束的装置，提出的是扫描电子显微镜或光学条件设定方法用于测量一个样品上的图案在所述所检测的基础从所述样品发射的电子的扫描电子束的所述样品的表面上。在所述...
- 申请日：2011-2-9 申请号：：WOJP11000704
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- 电子束照射的方法和扫描电子显微镜
- 中文摘要：本发明提供一种扫描电子显微镜，其中观测是通过预充料进行电子束(1003)到一个预充料区域(1101)的一个样品(1009)，和然后电子束照射到观察区域(1102)的所述样品; 和其中所述预充料区域被划分成多个的区域(1103)，和电子束的预充料条件(1003)。用于每个所述划分的区域被确定在所述的每个中包含的图案(...
- 申请日：2011-2-9 申请号：：WOJP11000706
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- 原子力显微镜和使用原子力显微镜测量样品方法
- 中文摘要：原子力显微镜和使用原子力显微镜测量样品的方法。 原子力显微镜可以使用短行程扫描仪和长行程扫描仪精确地测量样品的3D形状。 原子力显微镜可包括用于传送样品的台， 至少一个悬臂，所述悬臂包括探针，使得驱动位移和驱动频率通过相对于样品原子的吸引力和排斥力而改变；至少一个短行程扫描器，所述短行程扫描器包括悬臂以执行样品的短...
- 申请日：2011-2-8 申请号：：US12929674
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- 显微镜和观测方法。
- 中文摘要：本发明公开了一种显微镜，观察两者的方法，能够提高的空间分辨率。该显微镜涉及本发明的一个方面是提供具有一激光光源(10)，一个物镜(16)用于聚焦该激光束从样品上的所述激光光源，和一个检测器(22)用于检测所述激光束作为一信号光从所述样品(17)当所述激光束被照射到所述样品(17)。所述激光束被照射到所述样品，同时改...
- 申请日：2011-2-8 申请号：：WOJP11000697
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- 显微镜与自动聚焦机构和用于所述的自动聚焦过程与显微镜
- 中文摘要：一种用于自动聚焦方法在微观检查的样品位于所述一个显微镜物镜的焦点使用一种自动聚焦的光束路径，所述的自动聚焦的光束路径被引导，通过偏转装置设置在所述侧的所述显微镜面向离开物镜从所述样品，向所述显微镜物镜，和从接口上有一反射式的自动聚焦在所述样品区。所述的自动聚焦的光束路径被反射在所述的自动聚焦接口和引导通过该显微镜物...
- 申请日：2011-2-8 申请号：：DE102011003807
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