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| - 微电极的电化学测量系统配备有一光学显微镜观察功能
- 中文摘要:
- 申请日:2011-1-26 申请号::JP2011013875
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- 次优特征的扫描电镜修复
- 中文摘要:公开了一种用于修复光掩模的方法和系统。 扫描电子显微镜(SEM)用于识别、测量和校正缺陷。 SEM以多种模式操作,包括测量模式和修复模式。 修复模式比测量模式具有更高的着陆能量和曝光时间,并且导致光致抗蚀剂中的收缩以校正各种特征,例如过孔太小。
- 申请日:2011-1-26 申请号::US13013947
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- 显微镜仪器标准化的方法和系统
- 中文摘要:用于标准化来自显微镜系统的定量测量的方法和设备。 该方法包括校准过程,由此通过显微镜系统的光学装置获得校准载玻片的图像。 校准幻灯片产生标准响应,可用于确定特定系统的机器内在因素。 机器的内在因素可以存储起来供以后参考。 在使用中,采集目标样品和激发光源的图像。 使用被配置为采样强度的校准仪器来获得激励光源样品。 ...
- 申请日:2011-1-24 申请号::US13012707
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- 扫描电子显微镜
- 中文摘要:本发明公开了一种扫描电子显微镜提供与一个计算装置(403)用于测量所述图案的尺寸在一个样品(413),其特征在于,所述量的一种图案形状的变化,通过电子束照射引起的,被计算和存储,和一图案形状的轮廓(614; 815; 1512)所述样品是与电子束照射之前被恢复从一图案形状的轮廓(613; 814; 1511)中的一...
- 申请日:2011-1-21 申请号::WOJP11000301
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- 一种原子力显微镜样品负载盘
- 中文摘要:本实用新型提供了一种适用于活体动物动脉内膜原子力显微术在位成像的样品负载盘,所述原子力显微镜样品负载盘包括:底盘(10),第一平板(20),所述第一平板(20)可拆卸地设置于底盘(10)上;第二平板(30),所述第二平板(30)可拆卸地设置于第一平板(20)上,且第二平板(30)上具有贯穿所述第二平板(30)的厚度...
- 申请日:2011-1-21 申请号::CN201120020136.0
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