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| - 纳米-分辨率X-射线显微镜
- 中文摘要：字段 : 物理学。物质 : 纳米-分辨率X-射线管组件上的显微镜具有一个与一电子透镜系统的电子枪，偏转系统，一种从上一薄金属层制成的靶X-射线透明基底，一坐标-敏感的X-射线检测器，其中所述物镜还包括一隔离电极在其正绘制电位被施加，和所述之间的空间中的所述最后两个透镜组成的存在是一种二次电子探测器的一偏转栅极，一个...
- 申请日：2010-12-27 申请号：：RU2010153145
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- 粒子束显微镜
- 中文摘要：粒子束显微镜(1)具有磁透镜(3)光轴和前极片(21)，其设置在沿光轴的光路有间隔之前将物平面(19)。物体保持器构造成保持物体(5)在光轴之间的交点物平面内。X射线探测器的仰角设置，使得线和中心之间延伸的基板(35-1)。
- 申请日：2010-12-27 申请号：：DE102010056321
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- 扫描电子显微镜
- 中文摘要：一种技术能够suctionally将一个样品没有不必要地增加所述的电压施加到静电卡盘被提供。一检验样品具有一种已知的翘曲的大小和一个已知的翘曲的图案是用于进行一种suctional-附着测试有关于一种静电卡盘，以确定所述临界施加电压时，所述suctional-连接状态的变化从“不能令人满意的”以“良好”。当该目标检...
- 申请日：2010-12-24 申请号：：WOJP10073315
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- 落射式微分干涉相衬显微镜
- 中文摘要：本发明属于显微镜技术领域，具体的说，涉及一种落射式微分干涉相衬显微镜，其包括观察镜，落射照明器以及微分干涉相衬组件，所述微分干涉相衬组件包括微分干涉棱镜、用于调节微分干涉棱镜前后移动的调节杆以及调节微分干涉棱镜上下高度的调节螺钉，本发明所述的落射式微分干涉相衬显微镜具备明视场正置观察、偏振观察的功能，还可进行微分干...
- 申请日：2010-12-22 申请号：：CN201010600324.0
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- 一种利用扫描电镜检测缺陷的方法及装置
- 中文摘要：在使用复查SEM执行电路图案的编程点检查时，即使当要检查的电路图案的变化较大时，也可以在抑制错误报告的生成的同时执行稳定的检查。 将通过使用复查SEM顺序成像预定电路图案而获得的SEM图像存储到存储单元中。 从存储的SEM图像中选择满足设置条件的图像，并求平均值以创建平均图像(GP图像)。 通过使用该gp图像执行通...
- 申请日：2010-12-22 申请号：：US13520210
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