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| - 探测器装置包括扫描电子显微镜，所述探测器装置和探针的清洗方法
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种探测器装置能够抑制产生一种氧化物的膜的上一探针针。溶液 : 该探测器装置包括一清洗室5包括一个机构用于清洁一探针的探针单元4所述探测器装置的真空中通过使用离子或干处理等，和一个测量机构(一个制备室3，一种输送装置12，一测试晶圆13，和一个栅极阀6)用于确定电测量所述探针单元的所述探头4...
- 申请日：2010-12-10 申请号：：JP2010275690
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- 一种基于激光扫描共聚焦显微镜的头发丝成像方法
- 中文摘要：本发明提供一种基于激光扫描共聚焦显微镜的头发丝成像方法，其特征在于：采用0.5％吖啶橙标记头发细丝，并用去离子水冲洗1分钟；采用激光扫描共聚焦显微镜氩离子激光器488nm波长的激光扫描头发丝样品，并采用XYZ扫描程序采集图像。该方法操作简单，可观察头发丝鳞片状结构。
- 申请日：2010-12-9 申请号：：CN201010584822.0
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- 一种保持视场光照度一致的显微镜
- 中文摘要：本实用新型涉及一种保持视场光照度一致的显微镜，包括照明部分、机械部分和光学部分，其中，在光学部分中加入视场光信号采集装置，还加入信号控制处理系统，将从光信号采集装置采集到的光信号转变为电信号进行处理，然后将其反馈至照明光源、激发光源或照明光阑，达到保持视场光照度与物镜切换前一致，保证样本图像结果具备可比性的目的。本...
- 申请日：2010-12-9 申请号：：CN201020650829.3
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- 一种关键尺寸扫描电子显微镜的样品结构和测量方法
- 中文摘要：本发明提供了一种关键尺寸扫描电子显微镜的样品结构和测量方法，该方法在样品上添加一个位置固定的辅助图案，在测量该样品的关键尺寸时，通过抓取该辅助图案为模板，建立辅助图案与样品上待测图案的相对位置坐标的关系和设置CD recipe，使测量待测图案时，CDSEM能够在样品上查找与辅助图案，然后以辅助图案的坐标为基准，根据...
- 申请日：2010-12-9 申请号：：CN201010580636.X
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- 一种使用触摸屏系统控制光源的荧光显微镜
- 中文摘要：本实用新型公开了一种使用触摸屏系统控制光源的荧光显微镜，包括一采用了无限远多重色差校正光学系统的显微镜主机，所述显微镜主机上设置有一采用了高分辨率平场无限远大数值孔径的荧光物镜、一配置有单反数码相机的三目镜观察系统、一具有等高锐化特性，透过率为90％-95％的荧光滤色片组、一作为标本背景光来源的LED白光光源，以及...
- 申请日：2010-12-9 申请号：：CN201020650826.X
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