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| - 电子装置,和方法用于使用电子显微镜观察样品的
- 中文摘要:所要解决的问题是 : 根据样品的状态,用电子扫描显微镜和光学显微镜在同时观察和交替观察之间切换。 本发明提供一种电子束装置,在电子束装置中,在单一的壳体中包含 : 电子扫描显微镜,其具有用于在辐射电子束的同时扫描样品中的观察区域的电子光学结构,并输出样品的SEM图像数据; 以及光学显微镜30,其具有光源和光学系统,...
- 申请日:2010-7-2 申请号::JP2010151853
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- 扫描探针显微镜
- 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种非接触式扫描探针显微镜能够测量所述的磁性力的分布与高分辨率,而不处理一个样品(磁材料)或不恶化一个探头尖端。溶液 : 所述扫描探针显微镜包括 : 一个悬臂6; 该探针5; 一力检测器8用于检测所述悬臂的位移; 一个样品台2; 和移动装置(3,4,15,19,20)用于移动所述样品架,和测...
- 申请日:2010-7-1 申请号::JP2010151245
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- 扫描探针显微镜及其测量方法
- 中文摘要:根据传统技术的扫描探针显微镜难以操作用于在宽范围内扫描和定位的探针和用于在窄范围内高精度扫描的探针。 根据本发明的扫描探针显微镜使用探针驱动致动器进行粗调和细调。 对于宽范围的扫描和定位,粗调致动器切换到快速响应。 对于窄范围内的扫描,粗调致动器被切换到慢响应。 相反,降低了位置噪声,并且微调节致动器主要用于窄范围...
- 申请日:2010-7-1 申请号::US12828590
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- 用于检测所述大尺寸扫描探针显微镜对象
- 中文摘要:1。所述扫描探针显微镜用于检测所述大尺寸物体,其包括与所述的压电扫描器测量头和所述探针; cmbined用于为了所述单元的分析和控制的,并且还rapprochement所述的模块,三个降压保持; 建立在所述测量头,和所述测量头的驱动,rapprochement包括在所述的模块,其特征是 : 通过该旁的事实它被引入所...
- 申请日:2010-7-1 申请号::RU2010126742
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- 观察光学系统和包括该观察光学系统的显微镜
- 中文摘要:一种观察光学系统,从样品侧依次包括无限远校正物镜,具有正光焦度的第一透镜组,具有正光焦度的第二透镜组和具有正光焦度的管透镜。 在第一透镜组和第二透镜组之间并在第二透镜组的前侧焦点位置处形成中间图像。 所述物镜和所述第一透镜组之间的沿光轴的空间被配置为可改变,并且所述第二透镜组和所述管透镜之间的沿光轴的空间被配置为可...
- 申请日:2010-7-1 申请号::US12828572
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