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  • 扫描探针显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以用于可靠地提供一个扫描探针显微镜样品粘贴到一基板,更具体地,不使用金属离子源为一溶液,和所述的后表面上,而不需要一个昂贵的涂层一悬臂。溶液 : 该扫描探针显微镜中,所述样品和悬臂被设置在一容器包括溶液,和所述样品表面是观察和\/或液体中的分析。该样品8到被观察的粘附到所述基板7。所述基板7被安装...
  • 申请日:2010-2-12    申请号::JP2010028658

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  • 一种可测量悬垂结构样品的扫描探针显微镜
  • 中文摘要:一种扫描探针显微镜,使用使Z扫描器的扫描方向相对于样品平面旋转的可移动组件,以精确的量和高的可重复性倾斜Z扫描器的扫描方向。 可动组件通过齿条和小齿轮驱动系统沿着弯曲导向件移动,并且具有与形成在固定框架上的相应陶瓷球接合的凹槽,以将可动组件精确地定位在沿着弯曲导向件的预定位置处。 凹槽通过弹簧力压靠在陶瓷球上,并且...
  • 申请日:2010-2-12    申请号::US12705301

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  • 根据种类的一扫描显微镜装置,形成的一个结构单元中的装置,用于一显微镜和一程序和用于光学扫描装置的一个...
  • 中文摘要:所形成的一扫描显微镜中的一个装置,所形成的一个结构单元中的一个装置用于一显微镜和一种方法和一种用于光学扫描装置的一个或多个样本。一种装置在所形成的一扫描显微镜具有一个光源(42),其发射照明光光束(32)。一种聚焦透镜系统(34)聚焦在所述的照明光光束(32)上的一个区域到被检查的样品(36)。致动器装置移动所述聚...
  • 申请日:2010-2-12    申请号::DE102010007727

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  • 结构化的照明与所使用的共焦显微镜的横-型线结构的照明
  • 中文摘要:

    目的 : 一结构化的照明使用一个交叉结构的共焦显微镜的照明线性图案是提供以获得一图像在高通过使用两个轴速度高的速度镜扫描器。<\/P>

    构成 : 一结构化的照明共焦显微镜包括一个光发生器(10); 一束分离器(20),一个测量单元(30),和一个检测单元(40)。所述光发生器发出由垂直交叉的线性照明光的光...

  • 申请日:2010-2-12    申请号::KR1020100013238

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  • 样品观测方法和扫描电子显微镜
  • 中文摘要:本发明提供一种样品的观察方法,其中所述效果在吞吐量是最小化,和一图案轮廓可以获得在高精度,即使在一复杂的LSI图形,而不管所述的扫描方向的电子束。该样品观察方法中,存在或不存在的一个边缘平行于扫描方向(707)的电子束判断是关于一个边缘(708)的一个图案,以被观察到(S702); 如果边缘存在,在所述图案的边缘附...
  • 申请日:2010-2-9    申请号::WOJP10000778

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