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| - 显微镜系统
- 中文摘要：一种显微镜系统，包括 : 显微镜，该显微镜包括 : 电动载物台，在该电动载物台上安装有容纳试样的容器，该电动载物台上可调节容器的位置；扫描器，扫描照射到试样上的激光；物镜，聚焦扫描的激光；图像获取单元，通过检测试样中产生的荧光来获取试样图像；以及暗盒，该暗盒包含这些部件； 存储单元，存储容器在电动平台上的安装位置；...
- 申请日：2009-9-18 申请号：：US12562346
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- 用于分划板显微镜检查与可变照明设置
- 中文摘要：在掩模检查晶片的曝光期间也发生感兴趣的，其主要缺陷。因此，所述抗蚀剂中所述天线产生的图像和在所述检测器具有被作为尽可能远相同的。为了实现一个等效的图像的生成，掩模检查所述的照明期间和，所述对象上侧，所述数值孔径是适于使用所述的扫描器。一个进一步形成掩模检查的显微镜的用于测量所述掩模版的和是也称为作为一种注册工具。所...
- 申请日：2009-9-18 申请号：：WOEP09006753
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- 扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台
- 中文摘要：一种扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，包括试样放置用可转动插入式圆台及可插入圆台插孔的插座式样品台，所述样品台朝向电子背散射衍射方向的台面为一可插入试样的凹槽，试样平面平行于台面，样品台朝向电子背散射衍射方向的台面与水平面成夹角θ＝65-75°。本实用新型可分别用于测试试样表面及截面EBSD时试样的精确定位。测试...
- 申请日：2009-9-17 申请号：：CN200920209791.3
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- 用于获取装置和方法共焦杆(扫描传输电子显微镜)图像
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种装置和方法用于获取一个共焦杆图像具有一个简单的结构在一个装置，用于获取一个共焦图像。溶液 : 该装置用于获取所述共焦杆图像包括 : 一个检测单元6‘用于发射电子束以一种检测件10和排出从所述检验部件的检测信号; 一存储器22用于存储所述检测到的信号通过所述检测单元; 和一计算\/控制装置...
- 申请日：2009-9-17 申请号：：JP2009215458
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- 扫描探针显微镜及表面检查方法。
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜和一种表面检查方法用于形成一标志符号一个样品表面上不复杂的结构的一种装置。溶液 : 在所述扫描探针显微镜100，至少一个所述探针31的尖端33以外的部分在所述被涂覆的样品60的附近与一标记材料具有一种熔点低于所述探针的31。所述标记材料32被加热，从所述探针剥离，并附着到所...
- 申请日：2009-9-16 申请号：：JP2009213900
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