|
| - 具有可变照明掩模检查显微镜姿态
- 中文摘要：在掩模检查它是必要的，以识别缺陷，也出现晶片的曝光期间。因此，所述天线产生的图像在所述抗蚀剂和所述检测器上具有要作为尽可能相同。为了达到一个等效图像的生成，掩模检查所述的照明期间和，所述对象上侧，该数值孔径被适配到所述扫描仪使用。本发明涉及一种用于可变地设定所述的照明掩模检查显微镜，它用于产生一个该结构的图像(15...
- 申请日：2009-9-14 申请号：：DE102009041405
-
- 光学显微镜中的装置，用于调整照射中照射光的波长或波长区域的光学显微镜的路径，用于会聚
- 中文摘要：要解决的问题 : 以代替一个复杂的主光束分束器与一较简单的部件，以同时提高灵活性; 选择性和效率，从而被合适的用于从物体返回的荧光光谱法在一线性扫描式共焦激光扫描显微镜需要选择最高的对比度和效率的装置。溶液 : 该光学装置包括 : 一个用于分离所述照射光的波长色散元件; 和一个部分反射元件设置在一个用于反射后照射光...
- 申请日：2009-9-14 申请号：：JP2009212387
-
- 干涉显微镜和测量装置
- 中文摘要：本发明提供了一种干涉显微镜，其中样品，诸如一晶片，是与一激光束照射，和所述内部所述样品表面的观察和检查是通过使用一个干涉仪，和一个测量装置。一参考光之间的路径，用于引导光以一个分束器和一个参考反射镜被设置，以及一种测量光之间的路径，用于引导光以所述分束器和所述样品是还设置，因此，一个光的光程差是提供该参考光之间的路...
- 申请日：2009-9-11 申请号：：WOJP09066318
-
- 一体化虚拟载玻片和实况显微镜系统
- 中文摘要：提供了一种用于创建虚拟幻灯片的方法。 虚拟载玻片是显微镜载玻片的感兴趣区域的数字表示。 一种方法是使用能够相对于显微物镜移动样品的机动显微镜。 利用这种系统，可以通过显微物镜捕获一个或多个图像，从而对感兴趣的区域成像。 然后，每个图像被结合在一起以形成合成图像或“虚拟图像”。在一个实施例中，在创建虚拟载玻片之后，用...
- 申请日：2009-9-11 申请号：：US12584831
-
- 新型光活化性荧光染料用于光学显微镜和图像技术
- 中文摘要：本发明涉及一种新型的可光敏化的罗丹明或carbopyronine衍生物的如下通式g1～g4g1 : a1=O，A2≤n，A3≤C，g2 : a1≤S，A2≤n，A3≤C，g3 : A1=O，A2≤0，A3≤N；g4 : A1-X-C a2≤0，A3≤N；包括吸收紫外线的生色团通过照射光解后在254-490到540n...
- 申请日：2009-9-10 申请号：：WOEP09006578
-
|