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| - 用于控制样品的充电方法和扫描电子显微镜
- 中文摘要：本发明公开了一种扫描电子显微镜包括多个4a的孔(11a，11a4b，114ac)通过其电子束(110)。可以通，部分面向所述侧上提供一个样品(105)在所述外围部分(11a5a，115aB，115aC)围绕所述多个孔的并具有一个用于每个孔径不同的二次电子发射效率，和一个机构，用于切换所述多个的孔。还提供一种样品是一...
- 申请日：2009-8-28 申请号：：WOJP09065454
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- 扫描电子显微镜所述相同的装置和检查样品的使用方法
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一种高灵敏度，一种高吞吐量的电子束类型的检查装置及检查方法用于减轻人工的主电子束扫描移造成的缺陷。溶液 : 一半导体检测装置与多个主电子束被提供的与一调节装置，用于设定一个位置，其中所述多个主电子束被发射到一个用于检查样本。一种的所述多个主电子束的照射位置在所述样品被设置在根据与一个重复图案间...
- 申请日：2009-8-27 申请号：：JP2009196748
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- 用于测量近场扫描光学显微镜探针孔径的标样和测量方法
- 中文摘要：本发明提供一种测量近场扫描光学显微镜探针孔径尺寸的标样，包括透光的基片(1)和在该基片(1)的表面上的不透光的膜层(2)组成；膜层(2)具有至少一个测量单元(3)，每个测量单元(3)上包括至少两个矩形的无膜层区域构成，所述无膜层区域沿该测量单元的轴线方向顺序排列，相邻两个所述无膜层区域之间由一条膜线(5)隔开，膜线...
- 申请日：2009-8-25 申请号：：CN200910091794.6
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- 可连接变倍的双目体视显微镜
- 中文摘要：本实用新型涉及一种可连接变倍的双目体视显微镜，包括两个观察目镜与变倍镜筒，变倍镜筒的内部设有变倍光学系统，该变位光学系统由变倍镜与补偿镜构成，其中，变倍镜轴向设置于补偿镜的下侧，变倍镜与补偿镜的一端均与导螺杆相连接，变倍手轮的一端穿设于变倍镜筒的内部，并且与导螺杆的表面相连接。本实用新型整体结构简单，装配校正容易，...
- 申请日：2009-8-25 申请号：：CN200920173179.5
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- 共焦显微镜装置
- 中文摘要：本发明提供一种共焦显微镜装置，其便于所述调整步骤，当获得共焦图像和由此所述装置是由更小。所述共焦显微镜装置(1)被提供有一光纤光源(2)照射照明光(L1)，一个棱镜阵列的掩模(6)其中第一传输部件(15a)使所述荧光发射一第一组件(L2)的从样品(a)沿该方向返回的所述的照明光的入射和照明光(L1)，和第二传输部件...
- 申请日：2009-8-25 申请号：：WOJP09064763
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