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  • 激光扫描显微镜
  • 中文摘要:一激光扫描显微镜包括 : 一个物镜(2)用于观察试样(1); 一种焦平面的扫描透镜(3)所述相反侧上放置所述物镜的透镜(2)从所述试样(1)和其产生一个中间图像; 一反射镜(4)所述中间图像放置到所述的位置附近所述焦平面的扫描透镜(3); 一个扫描单元(5)扫描所述反射镜(4)在所述的光学轴方向; 和一个光瞳投影光...
  • 申请日:2009-6-9    申请号::EP09007622

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  • 一光学仪器用于使用作为一个便携式光显微镜以及作为一个望远镜
  • 中文摘要:本发明提供了一种改进的用于使用所述的壳体之间密封一种自动传输和所述外壳(可以)。一传输的驱动电机。所述密封件,其被设置在每个端部的一个的所述驱动电机外壳,包括一个最好是金属环具有内和外弹性肋式密封件固定在其上。所述环形件,其限定了一非硬化的S形横截面中,所述密封保持所述的形状和强度和所述肋的内密封提供一与所述电动机...
  • 申请日:2009-6-8    申请号::IN835KOL2009

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  • 基板检查装置,基板检查方法,扫描电子显微镜以及使用扫描电子显微镜的图像生成方法
  • 中文摘要:本发明的目的是提供一种检查装置和检查方法,其使用电子束图像来精确地检测光学图像中难以检测的缺陷,该装置和方法还能够防止可能降低检查图像的聚焦精度而影响缺陷检测。 为了实现该目的, 本发明包括 : 高度测量部分,用于测量衬底装载到可移动台之后在衬底上的电子束照射位置的高度; 高度校正处理部分,用于校正所测量的高度;以...
  • 申请日:2009-6-8    申请号::US12480443

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  • 基于激光共聚焦显微镜的拉压及疲劳加载实验机
  • 中文摘要:基于激光共聚焦显微镜的拉压及疲劳加载实验机,本发明提供一种适用于激光共聚焦显 微镜平台的加载实验机,该实验机包括固定基板、电机驱动的拉压加载装置、压电陶瓷驱动 的疲劳加载装置、力传感器、夹持装置和相移装置等部分。本发明可以实现对宏观尺度单轴 向应力下的金属或非金属材料的典型试样、薄膜进行拉压和疲劳加载的测试,该装置...
  • 申请日:2009-6-8    申请号::CN200910086827.8

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  • 一种扫描近场光学显微镜扫描探头
  • 中文摘要:本发明涉及一种扫描近场光学显微镜扫描探头。现有的扫描探头成像质 量较差,技术复杂。本发明包括传感器架、CCD传感器、成像室、滤光片、 图像采集卡。CCD传感器设置在传感器架上,成像室为倒立的内部中空的圆 锥体,成像室底面与传感器架配合连接;CCD传感器芯片的感光面与成像室 的底面位置对应;成像室的锥顶开有小孔,小孔...
  • 申请日:2009-6-8    申请号::CN200910099467.5

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