目的 : 一种用于制造方法中使用的探针一个扫描探针显微镜是提供以制造一探针,其使用具有纵横比在所述的结晶结构(111)-硅晶片。<\/P>
构成 : 一个部分,其限定了一个悬臂和一个探针尖端(550)上的平面上形成一(111)-硅晶片(500)。一种保护膜(540)。被形成在所述硅晶片的所述上和下平面。一...
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