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| - 装置用于纳米结构的原子力显微镜辅助沉积
- 中文摘要:一种局部纳米结构生长装置,其具有一个分隔室提供,其中的第一隔板(104)包括一个扫描探针显微镜(SPM)和第二的隔板(108)包括一个原子层沉积(ALD)室,其中第一的隔板是密封从第二隔板分离,和至少一个SPM的SPM探针尖端是设置近到一种样品在ALD室。根据本发明,该密封该腔室之间的隔离防止前体蒸气从损伤的临界显...
- 申请日:2009-3-23 申请号::WOUS09001846
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- 原子力显微镜辅助沉积纳米结构的原型工作站
- 中文摘要:提供了一种具有分隔室的局部纳米结构生长设备,其中第一分隔件包括扫描探针显微镜(SPM),第二分隔件包括原子层沉积(ALD)室,其中第一分隔件与第二分隔件气密隔离,SPM的至少一个SPM探针尖端靠近ALD室中的样品设置。 根据本发明,腔室之间的密封隔离防止前体蒸汽损坏关键显微镜部件,并确保ALD腔室中的污染物可以最小...
- 申请日:2009-3-23 申请号::US12383467
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- 一种扫描探针显微镜全自动进样机构
- 中文摘要:本实用新型提供一种扫描探针显微镜全自动进样机构,包括探头、螺杆、基座以及电机, 在探头上安装有探针,基座中央的样品台周边设置有三条螺杆,螺杆的一端与探头配合连接, 另一端穿插于基座并与电机相连接,通过这样的设计,有效的克服扫描探针显微镜进针时十 分繁琐的手工调节,实现全程全自动进针,并且避免了先手动粗调、再由电机控...
- 申请日:2009-3-20 申请号::CN200920053040.7
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- 大气和液相通用的原子力显微镜探针架-样品池装置
- 中文摘要:本发明提供一种适用于不同环境下使用的原子力显微镜探针架-样品池装置,包括样品 池、探针架及探针,探针架包括盖板及由透明平板一、透明平板二所组成的窗口,探针悬挂 设置于盖板的下方并由弹片顶装于盖板的锲口处,透明平板一、透明平板二分别垂直于打到 探针的入射激光光束和探针的反射激光光束,样品池两侧边分别设有可与导液管相接...
- 申请日:2009-3-20 申请号::CN200910038051.2
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- 扫描电子显微镜包括一膜用于保持样品和一碟形天线用于接收样品材料从一损坏膜
- 中文摘要:方法和设备能够很好地观察或检查一液体样品的(20)。所述的装置,例如一扫描电极的显微镜,可以比以前更好的保持和服务。该装置具有一膜(32)包括一第一表面(32a),以保持所述液体样品(20)在其上,一个真空室(11)用于降低所述一种环境中的接触压力与一第二表面(32b)的所述膜(32),主光束照射装置(1)连接与所...
- 申请日:2009-3-20 申请号::EP09250792
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