具有像差校正器和相位板的透射电子显微镜 中文摘要：本发明涉及具有像差校正器和相位板的透射电子显微镜(TEM)。 本发明涉及一种具有用于改善图像质量的校正器(330)和用于改善对 比度的相位板(340)的TEM。经改善的TEM包括被完全置于物镜与 相位板之间的校正系统，并且使用校正器的透镜在相位板上形成衍射平 面的放大图像。 申请日：2009-2-13    申请号：：CN200910006670.3   扫描电子显微镜系统及使用该系统测量半导体器件上形成的图案尺寸的方法 中文摘要：本发明提供一种扫描电子显微镜系统，其适于输出与样品的真实图案边缘端相吻合的轮廓信息， 并设置成通过在扫描电子显微镜图像的图案边缘的每个点处相对于图案边缘在切线方向上投影扫描电子显微镜图像来生成局部投影波形， 通过将在每个点上产生的局部投影波形施加到先前已创建的库上，将截面形状与电子束信号波形相关联，估计在样本上传送... 申请日：2009-2-13    申请号：：US12370870   扫描电子显微镜和使用该扫描电子显微镜测量图案尺寸的方法 中文摘要：在通过CD-SEM对半导体图案进行尺寸测量时，尺寸测量值与图案上的实际尺寸之间的误差值由于依赖于图案的横截面形状而变化很大，精度低是一个大问题。 在本发明中，预先用AFM测量结果和通过CD-SEM测量的相同形状的图案制备多个图案，每个图案具有不同的形状。 将这些测量结果和尺寸误差彼此同源并保存在数据库中。 对于尺寸... 申请日：2009-2-12    申请号：：US12369774   自动着陆的方法，着陆扫描探针显微镜的装置和使用该相同的扫描探针显微镜 中文摘要： 目的 : 一种方法和装置，用于自动着陆一个探针显微镜和所述探针显微镜及其被提供到将一着陆步骤，尽管一个条件变化，从而自动着陆一种探针。<\/P> 构成 : 一个激光单元施加一个高斯激光光束到所述探针显微镜的悬臂。一种图像信息收集单元收集产生的反射的光在一个样品表面通过所述高斯激光束。一个控制器获得平均所反... 申请日：2009-2-12    申请号：：KR1020090011319   等离子体的表面具有高分辨率的显微镜包括一个干涉仪的外差式接收机光纤 中文摘要：本发明涉及一种高-分辨率的表面等离激元的显微镜包括一个外差干涉仪(6)用于将激励光光束分成至少一个参考光束和至少一个测量光束引导向一个耦合介质(7)到产生一种表面等离子体振子，所述导光纤维的外差干涉仪主要由(12，13，14，15)光学地连接在一个第一的它们的端部到一个光耦合器(16)和每个还光学地连接在它们的第二... 申请日：2009-2-12    申请号：：FR09050878   总计： 14021 篇   首 页  上一页  下一页  末 页