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| - 显微镜系统
- 中文摘要：一种显微镜系统包括一传输具有一光源的照明光学系统(11)和一聚光透镜(13)，一个第一干物镜(15A)具有一放大的20或以上但不高于40需要用于任何一个差分干涉观测方法和调制的对比度的观察方法; 和第二干物镜(15b)具有一所需的60或以上但不高于100的放大率用于差分干涉观测方法。第一的物镜(15A)和第二的物镜...
- 申请日：2009-1-16 申请号：：WOJP09050555
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- 显微镜装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一显微镜装置，其具有通过有选择地切换观察光源观察性能的改进。溶液 : 所述的显微镜装置1包括 : 多个光的光源(2，3); 和一个光学耦合装置(4a)，其将所述的光从所述多个的光发射源(2，3)。优选地，所述的显微镜装置1还包括一光源切换装置(4)移动所述的光学耦合装置(4a)到一位置在所述...
- 申请日：2009-1-16 申请号：：JP2009008165
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- 一种利用扫描电子显微镜测量基板上形成的电路图案尺寸的方法及装置
- 中文摘要：在使用扫描电子显微镜(SEM)的电路图案的尺寸测量中， 为了能够自动地在样本上成像期望的评估点(EPs)， 并自动测量在评估点处形成的电路图案， 根据本发明，在使用扫描电子显微镜(SEM)的电路图案的尺寸测量中，将EP的坐标数据和包括EP的电路图案的设计数据用作输入，基于EP坐标数据和设计数据自动执行用于测量EP中...
- 申请日：2009-1-16 申请号：：US12354923
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- 扫描探针显微镜用镊子系统，扫描探针显微镜装置及除尘方法
- 中文摘要：本发明提供一种工件的前端形状的自由互换装置， 例如， 去除灰尘等， 另外， 本发明提供一种镊子，即使在污染工件的情况下，也能够容易地进行处理，并且即使在例如初学者的操作者在不受操作者技术的控制的情况下进行操作的情况下，也能够识别缺陷，所述镊子由两个臂构成，所述两个臂具有与集成到扫描探针显微镜上的样品相对设置的探针，...
- 申请日：2009-1-16 申请号：：US12355365
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- 远心的显微镜系统的可变
- 中文摘要：本发明指的是以一远心的显微镜系统与一个物镜，所述物镜从afokalen放大系统与连续可变放大，其eintrittspupille(ep)在于所述画面-所述物镜的横向聚焦，和所述放大系统的一个下级tubussystem。本发明是指还涉及一种用于远心afokales与可变放大系统放大显微镜-系统-根据本发明是所述作为a...
- 申请日：2009-1-15 申请号：：DE102009004741
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